切片装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种切片装置。
【背景技术】
[0002]作为从铸锭切片成具有规定的厚度的晶片的装置，存在切片装置(钢丝锯)。在现有的切片装置(例如专利文献I)中，被加工物通过垫板(用于粘接的工艺夹具)固定在工作板上。
[0003]图9表示现有的切片装置中的被加工物的安装部。安装夹具150被安装在工作板152上。在工作板152上设置有贯通孔154。贯通孔154具有支承台阶部155，在该支承台阶部155的下部具有小径孔156，在上部具有大径孔157。在贯通孔154上配置有紧固螺栓158。
[0004]侧面L字状的夹紧爪160由在垂直方向上设置的主体部162和从主体部162的下端向侧方突出的紧固部164构成，在主体部162的上面设置有螺纹孔166。通过使紧固螺栓158旋转使夹紧爪160上下移动。
[0005]由夹紧爪160构成夹紧机构。该夹紧机构夹紧垫板168。
[0006]垫板168具有设置在长方形板状的宽幅卡止部172的下表面中央部的窄幅接合部170。窄幅接合部170的下表面通过粘接剂C而粘接有被加工物140。
[0007]将垫板168的宽幅卡止部172插入工作板152的下表面与夹紧爪160的紧固部164的上表面之间，通过对紧固螺栓158进行紧固而使夹紧爪160上升，从而将宽幅卡止部172固定在工作板152和紧固部164之间。
[0008]在垫板168的宽幅卡止部172和夹紧爪160的主体部162之间形成有第一间隙部174，而且，在垫板168的窄幅接合部170与夹紧爪160的紧固部164之间形成有第二间隙部 176。
[0009]【在先技术文献】
[0010]【专利文献】
[0011]专利文献1:日本特开平10-44143号公报
[0012]在专利文献I中，在将被加工物粘接在垫板后，需要进一步将垫板安装在工作板上，将被加工物固定在切片装置上所需的工序复杂，因此存在作业性差的课题。
【发明内容】
[0013]本发明是为解决所述课题而完成的，其目的在于，提供能够容易地安装被加工物从而能够实现作业性的提高的切片装置。
[0014]为了实现所述目的，本发明的切片装置为利用丝线(例如钢丝)对安装在梁的主面上的被加工物进行切片的切片装置，所述切片装置的特征在于，直接夹紧所述梁的侧面。
[0015]【发明效果】
[0016]根据本发明，由于直接夹紧梁，因此能够容易地安装被加工物，从而能够提高作业性。
【附图说明】
[0017]图1是本实施方式I中的钢丝锯的整体结构图。
[0018]图2是本实施方式I中的夹紧部分的结构图。
[0019]图3是表示本实施方式I中的松开时的姿势的结构图。
[0020]图4是表示本实施方式I中的被加工物安装顺序的图。
[0021]图5是本实施方式I中的夹持器的结构图。
[0022]图6是本实施方式I中的夹紧部分的结构图。
[0023]图7是表示本实施方式I中的夹紧力的变化的一例的图。
[0024]图8是表示本实施方式I中的夹紧力的变化的另一例的图。
[0025]图9是表示现有的工件安装夹具的结构图。
[0026]【符号说明】
[0027]I被加工物
[0028]2 导轮
[0029]3 丝线
[0030]4 喷嘴
[0031]6a供给侧卷轴
[0032]6b回收侧卷轴
[0033]7 梁
[0034]12输送轴电动机
[0035]19控制部
[0036]21固定侧夹持器
[0037]22可动侧夹持器
[0038]23进给轴
[0039]24旋转机构
[0040]25 挡块
[0041]26 弹簧
[0042]27 棒
[0043]28 工作缸
[0044]29旋转轴
[0045]30 底面
[0046]31 凸部
[0047]31a第一倾斜面
[0048]31b第二倾斜面
【具体实施方式】
[0049]以下，参照图1?图8说明本实施方式。
[0050](实施方式I)
[0051]图1是本实施方式中的钢丝锯(切片装置)的整体结构图。
[0052]丝线3像绕线那样有规则地卷绕在供给侧卷轴6a上，从其抽出的丝线3被卷绕在导轮2上。以多圈卷绕在导轮2的丝线3之后卷绕在回收侧卷轴6b上而被回收。导轮2呈圆筒形状，在外周面贴附有例如聚氨酯橡胶，在该聚氨酯面上以规定的间距沿圆周方向刻设有达到100至2000处的多条槽。该导轮2配置有多个，具体而言配置有2?4个左右。一条丝线3经由各机构部且中途不切断地连接。
[0053]在利用钢丝锯的加工方式中存在固定磨粒方式和游离磨粒方式。固定磨粒方式为，将冷却介质(切削液)浇灌在通过镀镍或树脂结合剂等附着有金刚石等磨粒的丝线3上而进行加工的方式。另一方面，游离磨粒方式为将包含磨粒和水或油等的浆料浇灌在丝线3上进行加工的方式。冷却介质、浆料从喷嘴4供给。
[0054]在本实施方式中的钢丝锯中，可以采用两种方式，在此对采用固定磨粒方式的情况进行说明。丝线3进行交替运动并且被一点一点地送出。具体而言，反复进行将丝线3抽出500m而返回490m的循环。在该情况下，在一个循环中，将丝线3从供给侧卷轴6a抽出1m,并卷收于回收侧卷轴6b中10m。在沿一方向动作的区间中，使丝线3以300?1500m/min行驶。
[0055]加工进行至将被贴附在被加工物I上的梁7 (用于粘接的工艺夹具)被半切断。在被加工物I为太阳能电池用单晶硅的情况下，例如，达到每分钟Imm左右的速度地驱动输送轴电动机12而使被加工物I下降。
[0056]关于切片装置的一连串的动作，通过被存储在控制部19的任意的加工程序，以一连串的顺序自动控制。
[0057]被加工物I在通过粘接剂粘接在梁7的主面后，其侧面被切片装置的夹紧机构(夹持器)夹紧。对被夹紧的被加工物I实施上述的加工。
[0058]作为粘接剂，例如使用单液型的环氧树脂、或者双液型的环氧树脂。梁7的主面的长度方向上的长度比被加工物I的主面的长度方向上的长度长。而且，梁7的主面的宽度方向上的长度比被加工物I的主面的宽度方向上的长度长。
[0059]此处，利用图2至图5说明本实施方式所涉及的钢丝锯中的夹持器以及夹紧顺序。此处的夹持器具备固定侧夹持器21和可动侧夹持器22。固定侧夹持器21固定在进给轴(输送轴)23上。可动侧夹持器22安装在旋转机构24上。旋转机构24以旋转轴29为中心旋转，通过棒27、弹簧26、工作缸28而产生成为夹紧力的旋转力。
[0060]图3表示松开时的状态。弹簧26的一侧与安装在进给轴23上的挡块25相接，弹簧26的相反侧与工作缸28相接。在松开时，由工作缸28对弹簧26进行按压，弹簧26成为以挡块25为基点而收缩的状态。工作缸28使用例如液压缸。棒27按压旋转机构24，旋转机构24向箭头指示A的方向旋转。该状态为松开状态。
[0061]其次，图4表示直接夹紧梁7的侧面时的状态