技术编号：8320658
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在干蚀刻机台安装上部电极时，电极对位是最关键的操作步骤。采用人工对位操作中，拿取上电极时需使用吸盘，若吸盘上清洁不净，容易使污染物黏附于上部电极。同时对位时常会因操作不慎而碰撞上电极，造成上电极损坏。若电极对位不正，很可能导致蚀刻材料喷出不顺或者容易造成残余材料堆积等问题，进而影响产品品质，导致上电极耗损，机台的生命周期缩短。针对干蚀刻机台上部电极,依据RIE (Reactive 1n Etching,反应离子蚀刻)与ICP(Inductive Coupl...
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