上部电极安装治具的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种电极安装治具，尤指一种用于干蚀刻机台的上部电极安装的治具。
【背景技术】
[0002]在干蚀刻机台安装上部电极时，电极对位是最关键的操作步骤。采用人工对位操作中，拿取上电极时需使用吸盘，若吸盘上清洁不净，容易使污染物黏附于上部电极。同时对位时常会因操作不慎而碰撞上电极，造成上电极损坏。若电极对位不正，很可能导致蚀刻材料喷出不顺或者容易造成残余材料堆积等问题，进而影响产品品质，导致上电极耗损，机台的生命周期缩短。
[0003]针对干蚀刻机台上部电极,依据RIE (Reactive 1n Etching,反应离子蚀刻)与ICP(Inductive Coupled Plasma,电感f禹合式等离子蚀刻)上电极式样不同，设计出可供上电极安装使用的安装治具，使其安装快速便利且位置准确，还可以防止调整位置时不慎而造成的上电极与电极外框之间的碰撞与裸铝情形的产生。现行使用的安装治具多为原厂治具，其设计采用塑材且安装方式为使用治具锁定在原上部电极安装螺丝孔内，这样治具需要承受上电极的重量，容易造成治具断裂在螺丝孔内，不仅给电极安装带来不便，还须另外花费时间钻孔清洁，取出断在螺丝孔内的治具。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种用于干蚀刻机台的上部电极安装治具，缩短上部电极安装时间，避免对位失误产生的残余材料堆积的问题。
[0005]实现上述目的的技术方案是:
[0006]本发明的上部电极安装治具，所述上部电极安装治具包括一固定垫片、与所述固定垫片垂直连接的一侧板、以及复数个活动垫片，所述固定垫片相对于所述侧板的第一侧设有供放置复数个所述活动垫片的限位装置，所述活动垫片可活动地置于所述限位装置内；所述活动垫片活动至所述固定垫片相对于所述侧板的第二侧时与所述固定垫片配合以完成待安装的上部电极的定位。
[0007]采用上述方案所述的安装治具，通过固定垫片与活动垫片控制上电极的安装位置，电极外框上的两侧及底部分别设置本发明的安装治具，可以确保电极的正确对位。使用本安装治具，能够减少上部电极的安装时间，降低电极对位时因不慎碰撞而造成上电极的损坏现象，避免对位失误产生的残余材料堆积影响良率的问题。
[0008]本发明上部电极安装治具的进一步改进在于:所述侧板的上部开设有一安装孔。
[0009]本发明上部电极安装治具的进一步改进在于:所述侧板的下部对应所述活动垫片开设有一通孔，推抵所述活动垫片穿设所述通孔，使所述活动垫片活动至所述固定垫片的第二侧。
[0010]本发明上部电极安装治具的进一步改进在于:所述限位装置为一外框结构，所述外框结构包括两个相对设置的侧壁以及连接两个所述侧壁的顶板，两个所述侧壁的内侧设有复数对相对应的凹槽，所述活动垫片可活动地插设于所述凹槽内。
[0011]本发明上部电极安装治具的进一步改进在于:所述限位装置为一圆柱结构，所述活动垫片的一角通过一折边连接有一圆环，所述圆环套设于所述圆柱结构，所述活动垫片可绕所述圆柱结构旋转置于所述固定垫片的第二侧。
[0012]本发明上部电极安装治具的进一步改进在于:所述上部电极安装治具的材料为塑料。
[0013]本发明上部电极安装治具的进一步改进在于:所述上部电极安装治具的材料为聚四氟乙烯。
【附图说明】
[0014]图1为本发明上部电极安装治具的第一角度立体结构示意图；
[0015]图2为本发明上部电极安装治具的第二角度立体结构示意图；
[0016]图3为本发明上部电极安装治具用于安装ICP机型的上部电极时的使用状态结构示意图；
[0017]图4为图3中治具安装处的局部放大示意图；
[0018]图5为本发明上部电极安装治具用于安装RIE机型的上部电极时的使用状态结构示意图；
[0019]图6至图8为图5中的安装分解示意图。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明。
[0021]请参阅图1与图2所示，为本发明上部电极安装治具不同角度的立体结构示意图。本发明的上部电极安装治具适用于安装干蚀刻机台中的上部电极，干蚀刻机台分为ICP(电感耦合式等离子蚀刻)机型和RIE(反应离子蚀刻)机型，两种机型的上部电极式样不同，但本发明的上部电极安装治具对上述两种机型均适用，可以快速有效地对准上部电极的安装位置。下面对本发明的上部电极安装治具进行具体的说明。
[0022]该安装治具10包括一固定垫片101、垂直连接于固定垫片101的一侧板102、以及复数个活动垫片103。固定垫片101包括一安装面以及远离安装面的一底面，侧板102垂直连接于固定垫片101的安装面的中间位置。固定垫片101相对于侧板102的第一侧于安装面上设有一限位装置1011，活动垫片103可活动地置于限位装置1011内。活动垫片103活动至固定垫片101相对于侧板102的第二侧时与固定垫片101配合以完成待安装的上部电极的定位。
[0023]侧板102的上部开设有安装孔1021，可以通过螺丝穿设安装孔1021将安装治具10固定。
[0024]作为本发明的一较佳实施方式，限位装置1011可以为外框结构，包括两个相对设置的侧壁以及连接两侧壁的顶板，两个侧壁的内侧开设有复数对相对应的凹槽，活动垫片103可活动地插设于所述凹槽内。在本实施方式中，侧板102的下部对应活动垫片103开设有通孔1022，推抵限位装置1011内的活动垫片103，使得活动垫片103滑动穿设通孔1022，从固定垫片101的第一侧滑向第二侧，并置于固定垫片101第二侧的安装面上。通过活动垫片103的滑动，可以实现增加固定垫片101第二侧的厚度，使得本安装治具10的间隔可以根据不同的要求做相应的调整。该活动垫片103的滑动从邻近固定垫片101的活动垫片开始，根据需要设定的间隔大小，来选择推动活动垫片103的数量。
[0025]作为本发明的另一较佳实施方式，限位装置1011为一圆柱结构，该圆柱结构邻近侧板102置于固定垫片101的安装面上的边缘，活动垫片103的一角通过一折边连接有一圆环，通过圆环套设于圆柱结构来限定活动垫片103的位置，活动垫片103可绕所述圆柱结构旋转，从固定垫片101的第一侧转向第二侧，并置于固定垫片101第二侧的安装面上。通过活动垫片103的旋转，可以实现增加固定垫片101第二侧的厚度，使得本安装治具10的间隔可以根据不同的要求做相应的调整。
[0026]作为本发明的一较佳实施方式，本安装治具10中的固定垫片101与侧板102之间采用一体成型设计，其中固定垫片101的厚度为2毫米，活动垫片的厚度为I毫米，限位装置1011内的活动垫片103的数量为8个，这样使得本安装治具10的间隔可调范围为2毫米至10毫米，采用垫片的方式