技术编号:8324714
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。柔性透明导电薄膜由于其特有的柔性、轻薄、高透射率等特性,广泛应用于柔性显示、薄膜太阳能电池、智能窗膜、触摸屏等领域。目前掺锡氧化铟(ITO)作为透明导电薄膜材料,由于在制造及应用技术上已经很成熟,应用非常广泛。但由于其特性要求,其最佳成膜温度在300°C左右。但对于柔性、超薄透明基底材料(如PET类),随着温度的增加基底材料逐步变形,当温度达到150°C即开始严重变形。通常制作大面积柔性基底的透明导电薄膜采用磁控溅射沉积成膜,控制柔性基底材料温度低于100...
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