光学滤波器装置、光学模块以及电子设备的制造方法技术资料下载

技术编号:8338528

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以前,已知有使用法布里-珀罗标准具元件(光学滤波器装置),从射入光测量规定波长的光的光量的测量装置(例如,参照专利文献I)。该专利文献I中记载的装置,控制对致动器的施加电压,使构成光学滤波器装置的一对反射膜间的距离变化,使对应于反射膜间的间隙尺寸的波长的光透过,并由光接收元件接收。然而,在如上述专利文献I中记载的测量装置中,在测量较宽波段的分光特性的情况下,作为构成光学滤波器装置的一对反射膜,优选使用Ag合金等金属膜。但是,在使用这种金属膜的情况下,透过光...
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