光学滤波器装置、光学模块以及电子设备的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明关于光学滤波器装置、光学模块以及电子设备。
【背景技术】
[0002]以前，已知有使用法布里-珀罗标准具元件(光学滤波器装置)，从射入光测量规定波长的光的光量的测量装置(例如，参照专利文献I)。
[0003]该专利文献I中记载的装置，控制对致动器的施加电压，使构成光学滤波器装置的一对反射膜间的距离变化，使对应于反射膜间的间隙尺寸的波长的光透过，并由光接收元件接收。
[0004]然而，在如上述专利文献I中记载的测量装置中，在测量较宽波段的分光特性的情况下，作为构成光学滤波器装置的一对反射膜，优选使用Ag合金等金属膜。但是，在使用这种金属膜的情况下，透过光学滤波器装置的光的半幅值变大，分辨率降低。即，以实施光量测量的波长为中心的较宽波段的光从光学滤波器装置射出，存在不能获得精度较高的测量结果的问题。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开平01-94312号公报
【发明内容】
[0008]本发明的目的在于，提供能够高精度地射出期望波长的光的光学滤波器装置、光学模块以及电子设备。
[0009]本发明的光学滤波器装置，其特征在于具备:波长可变干涉滤波器，具有彼此相对的一对反射膜以及改变所述一对反射膜的间隙尺寸的间隙改变部；以及带通滤波器，设置在所述一对反射膜的光轴上，其中，所述带通滤波器具有包括使光透过的多个透过波段的光学特性，并且所述各透过波段(wavelength band)各自不同。
[0010]在本发明中，在带通滤波器的光学特性(光透过率特性)中，设置有多个透过波段。即，在带通滤波器中，对于规定的波段，使光透过的透过波段和不使光透过(例如透过率为规定值以下)的非透过波段交替排列。在这种构成中，通过利用间隙改变部改变一对反射膜的间隙间隔，使从波长可变干涉滤波器射出的光的峰值波长在带通滤波器的透过波段内。对于从波长可变干涉滤波器射出的光，以对应于间隙间隔的峰值波长为中心的规定波段的光射出，但是在上述构成中，其中透过波段外的光(非透过波段的光)被带通滤波器阻挡，透过波段内的光透过。此时，在对应于峰值波长的透过波段以外的其他透过波段中，也有光透过，但是，由于从波长可变干涉滤波器射出的该其他透过波段中所包含的光的光量非常小，因此对测量精度的影响较小。
[0011]因此，在本发明中，能够从光学滤波器装置高精度地射出期望波长的光，实现了分辨率的提高。
[0012]在本发明的光学滤波器装置中，优选的是，所述各透过波段比从所述波长可变干涉滤波器射出的光的半幅值小。
[0013]在本发明中，带通滤波器的各透过波段比从波长可变干涉滤波器射出的光的半幅值小。在这种构成中，比包含峰值波长在内的半幅值小的波段内的光从光学滤波器装置射出。在透过波段的带宽为半幅值以上的情况下，在作为期望波长的峰值波长的光以外，不需要的波长成分的光的光量也增大，不能实现足够的分辨率的提高。对此，如本发明，通过使透过波段的带宽比半幅值小，能够实现光学滤波器装置的分辨率的进一步的提高。
[0014]在本发明的光学滤波器装置中，优选的是，多个所述透过波段的间隔比从所述波长可变干涉滤波器射出的光的半幅值的一半大。
[0015]在本发明中，夹着非透过波段的两个透过波段的间隔、即非透过波段的带宽，比从所述波长可变干涉滤波器射出的光的半幅值的一半大。
[0016]在非透过波段的宽度为半幅值的一半以下的情况下，透过对应于峰值波长的透过波段前后的透过波段的光的光量增大，在非透过波段中，不能充分地截断不需要的波长成分的光。对此，在本发明中，由于非透过波段的宽度为半幅值的一半以上，因此，在非透过波段中，能够充分地截断不需要的波长成分的光，不需要的波长成分的光的光量也变小。由此，实现了光学滤波器装置的分辨率的提高。
[0017]在本发明的光学滤波器装置中，优选的是，所述带通滤波器在所述光轴上设置有多个。
[0018]在本发明中，具有同一透过波段以及非透过波段的带通滤波器设置有多个。在透过多个带通滤波器的情况下，非透过波段的透过率是将带通滤波器的非透过波段的透过率相乘。例如，在一个带通滤波器中的非透过波段的透过率为I %的情况下，如果使用两个带通滤波器，则该非透过波段的透过率为0.01 %。因此，在本发明中，能够使非透过波段中的光的透过率进一步降低，能够更加可靠地截断不需要的波长成分的光，因此，能够实现光学滤波器装置的分辨率的进一步的提高。
[0019]在本发明的光学滤波器装置中，优选的是，所述带通滤波器设置在光射入所述波长可变干涉滤波器的光射入侧。
[0020]在带通滤波器设置在波长可变干涉滤波器的光射出侧的情况下，存在从波长可变干涉滤波器射出的光被带通滤波器反射，再次射入波长可变干涉滤波器的情况，在该情况下，存在噪音成分增大并且分辨率降低的危险。对此，如本发明，通过将带通滤波器配置在光射入侧，能够降低上述的危险，实现了光学滤波器装置的分辨率的提高。
[0021]在本发明的光学滤波器装置中，优选的是，所述带通滤波器由电介质多层膜构成。
[0022]在本发明中，带通滤波器由电介质多层膜构成。在该情况下，通过控制高反射层和低反射层的膜厚，能够容易地形成带通滤波器，能够使制造效率性提高。
[0023]在本发明的光学滤波器装置中，优选的是，所述带通滤波器的多个所述透过波段以外的波段中的光的透过率为10%以下。
[0024]在本发明中，由于非透过波段中的光的透过率为10%以下，因此，能够抑制该非透过波段中的不需要的波长成分的光的射出，实现了光学滤波器装置的分辨率的提高。
[0025]在本发明的光学滤波器装置中，优选的是，所述波长可变干涉滤波器具备设置有所述一对反射膜中的任一个的基板，所述带通滤波器设置于所述基板。
[0026]在本发明中，带通滤波器设置于设置有波长可变干涉滤波器的反射膜的基板。因此，能够将波长可变干涉滤波器和带通滤波器一体化，能够实现光学滤波器装置的小型化。
[0027]在本发明的光学滤波器装置中，优选的是，具有收纳所述波长可变干涉滤波器的框体。
[0028]在本发明中，由于波长可变干涉滤波器被收纳于框体，因此能够保护光学滤波器装置不受外力。并且，由于能够抑制带电粒子等的侵入，因此能够抑制带电粒子附着于反射膜等而引起的性能降低(例如由于带电粒子所引起的库仑力而间隙尺寸进行变动的不良情况等)。
[0029]在本发明的光学滤波器装置中，优选的是，所述框体具有设置在所述一对反射膜的光轴上并且使光透过的透光部件，所述带通滤波器设置于所述透光部件。
[0030]在本发明中，带通滤波器设置于框体的透光部件。在这种构成中，能够使用现有的波长可变干涉滤波器，能够实现利用的扩大。
[0031]本发明的光学模块，其特征在于具有光学滤波器装置和光接收部，光学滤波器装置具有:波长可变干涉滤波器，该波长可变干涉滤波具有彼此相对的一对反射膜以及改变所述一对反射膜的间隙尺寸的间隙改变部；以及带通滤波器，设置在所述一对反射膜的光轴上。光接收部接收从所述光学滤波器装置射出的光。所述带通滤波器具有包括使光透过的多个透过波段的光学特性，并且所述各透过波段各自不同。
[0032]在本发明中，与上述发明同样，能够提高光学滤波器装置的分辨率。因此，通过使从光学滤波器装置提取的光由光接收部接收，能够高精度地检测期望波长的光的光量。
[0033]本发明的电子设备，其特征在于具有光学滤波器装置和控制部，光学滤波器装置具有:波长可变干涉滤波器，该波长可变干涉滤波具有彼此相对的一对反射膜以及改变所述一对反射膜的间隙尺寸的间隙改变部；以及带通滤波器，设置在所述一对反射膜的光轴上。控制部控制所述光学滤波器装置。所述带通滤波器具有包括使光透过的多个透过波段的光学特性，并且所述各透过波段各自不同。
[0034]在本发明中，与上述发明同样，能够以高分辨率使光从光学滤波器装置射出。因此，电子设备能够基于该光实施正确的处理。
【附图说明】
[0035]图1是示出第一实施方式的分光测量装置的概略构成的框图。
[0036]图2是示出第一实施方式的波长可变干涉滤波器的概略构成的俯视图。
[0037]图3是图2中的A-A线的截面图。
[0038]图4是示出第一实施方式的波长可变干涉滤波器的光学特性的视图。
[0039]图5是示出第一实施方式的带通滤波器的光学特性的视图。
[0040]图6是示出第一实施方式的光学滤波器装置的光学特性的视图。
[0041]图7是示出第二实施方式的光学滤波器装置的概略构成的截面图。
[0042]图8是示出第三实施方式的光学滤波器装置的概略构成的截面图。
[0043]图9是示出作为本发明的其他实施方式的光源检查装置中的光源的照射强度特性以及波长可变干涉滤波器的光学特性的视图。
[0044]图10是示出上述光源检查装置中的带通滤波器的光学特性的视图。
[0045]图11是示出上述光源检查装置中的光源的照射强度特性以及光学滤波器装置的光学特性的视图。
[0046]图12是示出作为本发明的电子设备的其他例的比色装置的概略构成的框图。
[0047]图13是作为本发明的电子设备的其他例的气体检测装置的概略图。
[0048]图14是示出图13的气体检测装置的控制系统的框图。
[0049]图15是示出作为本发明的电子设备的其他例的食物分析装置的概略构成的框图。
[0050]图16是示出作为本发明的电子设备的其他例的分光照相机的概略构成的模式图。
【具体实施方式】
[0051][第一实施方式]
[0052]以下，基于附图，对本发明涉及的第一实施方式进行说明。
[0053][分光测量装置的构成]
[0054]图1是示出本发明涉及的分光测量装置的概略构成的框图。
[0055]分光测量装置I是本发明的电子设备的一例，是分析被测量对象X反射的测量对象光中的各波长的光强度，测量分光光