11。由此，实现了噪音的降低。
[0138]在本实施方式中，带通滤波器502由电介质多层膜构成。这种电介质多层膜通过蒸镀法或溅射法能够容易成膜，能够使制造效率性提高。
[0139]在本实施方式中，带通滤波器502中的非透过波段Rn的透过率为10%以下。因此，能够抑制在非透过波段Rn透过的不需要的波长成分的光的光量，实现了光学滤波器装直500的进一步的提闻。
[0140]在本实施方式中，带通滤波器502形成于波长可变干涉滤波器501的固定基板51。因此，能够使波长可变干涉滤波器501和带通滤波器502 —体化，从而能够实现光学滤波器装置500的薄型化。
[0141][第二实施方式]
[0142]接着，基于附图，对本发明的第二实施方式进行说明。
[0143]在上述第一实施方式中，示出在光学滤波器装置500中设置一个带通滤波器502的例子，但是在第二实施方式中，在光学滤波器装置中设置多个带通滤波器502这点与上述第一实施方式不同。
[0144]图7是示出本实施方式中的光学滤波器装置500Α的概略构成的视图。并且，在以后的实施方式的说明中，对于与上述第一实施方式同样的构成赋予相同的符号，并省略或者简略化其说明。
[0145]如图7所示，本实施方式的光学滤波器装置500Α具有波长可变干涉滤波器501、设置于该波长可变干涉滤波器501的固定基板51的多个带通滤波器502。
[0146]这些带通滤波器502分别具有同样的光学特性(透过特性)。即，被形成为在固定基板51上层叠多个(图7的例子中为三个)由第一实施方式中所示的电介质多层膜构成的带通滤波器502。
[0147]如果设置多个带通滤波器502，则具有将这些带通滤波器502的透过率相乘的透过特性。即，在带通滤波器502中，在非透过波段Rn中的透过率为10 %的情况下，通过使用三个带通滤波器，则成为0.1 %的透过率，能够使非透过波段Rn中的透过率接近O。因此，在本实施方式中，能够更加可靠地截断非透过波段Rn中的不需要的波长成分的光，从而能够使光学滤波器装置500A的分辨率进一步提高。
[0148][第三实施方式]
[0149]接着，基于附图，对本发明的第三实施方式进行说明。
[0150]图8是示出本发明的第三实施方式涉及的光学滤波器装置500B的概略构成的截面图。
[0151]如图8所示，光学滤波器装置500B具有框体610，该框体610具有基底620和盖部630。通过将这些基底620以及盖部630接合，在内部形成收容空间，在该收容空间内收纳波长可变干涉滤波器501。
[0152](基底的构成)
[0153]基底620例如由陶瓷等构成。该基底620具有底座部621和侧壁部622。
[0154]底座部621在滤波器俯视观察中例如构成具有矩形状的外形的平板状，筒状的侧壁部622从该底座部621的外周部向盖部630立起。
[0155]底座部621具有在厚度方向上贯通的开口部623。在将波长可变干涉滤波器501收容于底座部621的状态下，在从厚度方向观看底座部621的俯视观察中，该开口部623被设置成包括与反射膜54、55重叠的区域。
[0156]并且，在底座部621的与盖部630相反侧的面(基底外侧面621B)上，接合有覆盖开口部623的玻璃部件627。底座部621和玻璃部件627的接合，例如可以利用以下接合等:使用在高温下将玻璃原料熔解、淬火后的作为玻璃碎片的玻璃粉(低熔点玻璃)的低熔点玻璃接合；利用环氧树脂等的粘接等。在本实施方式中，收容空间内在维持减压的状态下气密地进行维持。因此，底座部621以及玻璃部件627优选使用低熔点玻璃进行接合。
[0157]并且，在底座部621的与盖部630相对的内面(基底内侧面621A)上，设置有与波长可变干涉滤波器501的电极垫563P、564P连接的内侧端子部624。内侧端子部624与电极垫563P、564P例如通过FPC(Flexible Printed Circuits,柔性印刷电路)等被连接。
[0158]并且，底座部621在内侧端子部624所设置的位置形成有贯通孔625。内侧端子部624经由贯通孔625连接于设置在底座部621的基底外侧面62IB的外侧电子部626。
[0159]侧壁部622从底座部621的缘部立起，覆盖载置于基底内侧面62IA的波长可变干涉滤波器501的周围。侧壁部622的与盖部630相对的面(端面622A)例如形成与基底内侧面62IA平行的平坦面。
[0160]并且，在基底620上,例如使用粘接剂等固定材料固定波长可变干涉滤波器501。此时，波长可变干涉滤波器501可以固定于底座部621，也可以固定于侧壁部622。作为设置固定材料的位置，可以是多个地方，但是，为了抑制固定材料的应力传递至波长可变干涉滤波器501,优选的是在一个地方固定波长可变干涉滤波器501。
[0161](盖部的构成)
[0162]盖部630在俯视中具有矩形状的外形，构成本发明的透光部件。该盖部例如由玻璃等构成。
[0163]如图8所示，盖部630接合于基底620的侧壁部622。作为接合方法，例如可以例示出使用低熔点玻璃的接合等。
[0164]并且，在本实施方式的光学滤波器装置500B中，带通滤波器502设置于盖部630。并且，在图8中，示出设置于盖部630的外表面(基底620的相反侧)的例子，但是并不限定于此，例如也可以形成设置于盖部630的内表面(基底620侧)的构成等。
[0165]并且，如第二实施方式，也可以形成设置有多个带通滤波器502的构成。
[0166][第三实施方式的作用效果]
[0167]在如上述的本实施方式的光学滤波器装置500B中，由于通过框体610保护波长可变干涉滤波器501，因此能够防止由于外在因素所引起的波长可变干涉滤波器501的破损。并且，由于能够抑制带电粒子等向框体610内的侵入，因此能够抑制带电粒子向反射膜54、55的附着以及由于带电粒子产生库仑力而反射膜54、55之间的间隙尺寸进行变动的不良情况。
[0168]并且，如上述实施方式，带通滤波器502设置于框体610的盖部630。在这种构成中，例如能够将先前使用的波长可变干涉滤波器(在固定基板51上没有设置带通滤波器502的波长可变干涉滤波器)直接收纳在框体610内，从而能够使通用性提高。
[0169]并且，在本实施方式中，形成在收纳于框体610内的波长可变干涉滤波器501上没有直接设置带通滤波器502的构成，但是并不限定于此。例如，如上述第一实施方式或第二实施方式，也可以形成带通滤波器502不设置于盖部630，而直接设置于波长可变干涉滤波器501的构成等。此外，如第二实施方式，也可以形成多个带通滤波器502设置于盖部630的构成等。此外，如第一实施方式或第二实施方式，也可以形成在波长可变干涉滤波器501上设置带通滤波器502，并且在盖部630上也设置相同光学特性的带通滤波器502的构成。在该情况下，与第二实施方式同样，能够进一步降低对于非透过波段Rn的透过率。
[0170][其他实施方式]
[0171]并且，本发明并不限定于上述的实施方式，在能够达成本发明的目的的范围内的变形、改良等包含在本发明内。
[0172]在上述实施方式中，作为反射膜54、55，例示了波及能够测量的波段较宽范围的金属膜、合金膜，但是，例如如上所述，也可以使用电介质多层膜。
[0173]在上述实施方式中，透过波长可变干涉滤波器501的光的半幅值大致一定，基于为其平均值的半幅值A说明了带通滤波器的光学特性，但是并不限定于此。
[0174]如上所述，对于透过波长可变干涉滤波器501的光，半幅值由于波长而进行变化。因此，也可以对成为测量对象的各波长设定带通滤波器502的透过波段Rp以及非透过波段Rn。例如，在波长可变干涉滤波器501中，在当520nm的波长的光透过时半幅值为30nm并且当400nm的波长的光透过时半幅值为40nm的情况下,也可以如下设定带通滤波器502的光学特性。即，将以带通滤波器502的波长520nm为中心的透过波段Rp52tl设定为3nm，将与该透过波段Rp5M相邻的非透过波段Rn的带宽设定为比半幅值30nm的一半(15nm)大的16nm。另一方面,将以带通滤波器502的波长400nm为中心的透过波段Rp4tltl设定为4nm,将与该透过波段Rp_相邻的非透过波段Rn的带宽设定为比半幅值40nm的一半(20nm)大的22nm。
[0175]这样，通过基于透过波长可变干涉滤波器501的各测量对象波长的半幅值，设定带通滤波器502的光学特性，能够从光学滤波器装置500、500A、500B射出更高分辨率的光。
[0176]在上述实施方式中，示出带通滤波器502中的透过波段的带宽比从波长可变干涉滤波器501射出的光的半幅值小的例子，但是并不限定于此。例如，在作为反射膜使用电介质多层膜的情况等从波长可变干涉滤波器射出的光的半幅值较小的情况下，也可以使透过波段的带宽比半幅值大到不会对测量精度带来影响的程度。但是，在该情况下，由于不需要的波长成分的光增大，因此优选设定为半幅值以下。
[0177]并且，在上述实施方式中，示出将带通滤波器502中的非透过波段的带宽设定为半幅值的一半以上的例子，但是并不限定于此。例如，在实施详细的比色处理的情况等，也可以通过取得的波长的取得间隔，将非透过波段的带宽设定为半幅值的不到一半。但是，由于透过波长可变干涉滤波器的光中的不需要的光成分所含有的量增大，优选设定为半幅值的一半以上。
[0178]在上述实施方式中，形成将带通滤波器502设定在波长可变干涉滤波器501的光射入侧的构成，但是并不限定于此。例如，也可以形成在波长可变干涉滤波器501的光射出侧设置带通滤波器502的构成等。
[0179]在上述实施方式中，示出带通滤波器502由电介质多层膜构成的例子，但是并不限定于此。例如，作为带通滤波器502，也可以通过组合多种单层截断滤波器而形成设定多个透过波段的构成。
[0180]在带通滤波器502中，示出非透过波长中的透过率为10%以下的例子，但是并不限定于此。例如，如第二实施方式，