技术编号:8338904
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及设备工艺控制领域,特别是涉及一种支持同时加工多片物料的路由控制方法和一种支持工艺腔室同时加工多片物料的路由控制装置。背景技术安排物料的传送顺序,以及工艺腔室中每个工艺位置开始进行工艺的时间合称为物料的路由控制。物料路由控制技术是一颗基于设备状态的搜索树,搜索树的每个结点代表设备中所有物料所在位置以及工艺状态的集合。物料每移动一次,设备的状态就发生一次改变,形成一个新的结点,因此搜索树的每个分支代表一次一个物料的移动。物料移动一次,形成一个新的结点...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。