一种支持同时加工多片物料的路由控制方法和装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及设备工艺控制领域，特别是涉及一种支持同时加工多片物料的路由控制方法和一种支持工艺腔室同时加工多片物料的路由控制装置。
【背景技术】
[0002]安排物料的传送顺序，以及工艺腔室中每个工艺位置开始进行工艺的时间合称为物料的路由控制。
[0003]物料路由控制技术是一颗基于设备状态的搜索树，搜索树的每个结点代表设备中所有物料所在位置以及工艺状态的集合。物料每移动一次，设备的状态就发生一次改变，形成一个新的结点，因此搜索树的每个分支代表一次一个物料的移动。物料移动一次，形成一个新的结点；在新的节点上再移动一次，又形成一个新的结点，直到所有物料都完成设定的任务。也就是说这颗搜索树的叶子节点即是所有物料都完成工艺加工，回到相应的位置。遍历这棵搜索树，找出这棵搜索树从根节点到叶子节点所需时间最少的那条路径，便是最优的物料传送顺序和加工顺序。
[0004]在物料放置到相应的需要进行工艺加工的位置后，立即开始加工。并且每个分支只能是一个物料的一次移动，从日志文件中可以输出:
[0005]1.物料I从A位置移动到B位置，并开始工艺；
[0006]2.物料2从C位置移动到D位置，并开始工艺；
[0007]3.物料I从B位置移动到A位置；
[0008]4.物料2从D位置移动到C位置；
[0009]5.位置C进行一次不带物料的工艺加工。
[0010]但是上述可以进行工艺加工的位置都只能放置一片物料，即每次只能针对一个物料进行工艺处理。显然，对于需要同时加工多个物料进行工艺处理的生产线设备，例如APCVD (Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposit1n,常压化学气象沉积)设备，上述方法不能适用。
【发明内容】
[0011]本发明实施例所要解决的技术问题是提供一种支持同时加工多片物料的路由控制方法，以解决工艺腔室不支持同时加工多片物料的问题。
[0012]本发明还提供了一种支持同时加工多片物料的路由控制装置，用以保证上述方法的实现及应用。
[0013]为了解决上述问题，本发明实施例公开了一种支持同时加工多片物料的路由控制方法，所述路由控制方法，包括以下步骤:
[0014]将支持同时加工多片物料的工艺腔室标记为批处理模块；
[0015]按照预设规则针对待加工的物料进行标记；其中，所述预设规则包括组号标定规则和优先级标定规则；所述批处理模块具有容量，所述组号标定规则为依据所述批处理模块的容量将待加工的物料划分为一个或多个分组，同一分组的物料具有相同的组标识；所述优先级标定规则为同一分组内的物料按照优先级进行排序；所述物料具有源位置和目标位置；
[0016]当当前物料的源位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有优先级最低的物料；若否，则允许所述物料从所述源位置离开；
[0017]当当前物料的目标位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有物料；若是，则当所述物料的组标识与所述批处理模块中物料的组标识相同时允许所述物料传输至所述批处理模块；否则，允许所述物料传输至所述批处理模块。
[0018]优选地，所述路由控制方法，还包括以下步骤:
[0019]当当前物料的目标位置为非批处理模块时，判断所述目标位置是否具有物料；若否，则当具有对应的空闲机械臂时允许所述物料传输至所述目标位置。
[0020]优选地，所述路由控制方法，还包括以下步骤:
[0021]当当前物料的源位置为非批处理模块时，查询当前物料的目标位置；
[0022]当当前物料的目标位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有物料；若是，则当所述物料的组标识与所述批处理模块中物料的组标识相同时允许所述物料传输至所述批处理模块；否则，允许所述物料传输至所述批处理模块；
[0023]当当前物料的目标位置为非批处理模块时，判断所述目标位置是否具有物料；若否，则当具有对应的空闲机械臂时允许所述物料传输至所述目标位置。
[0024]优选地，所述预设规则还包括工艺标定规则，所述工艺标定规则为同一分组的优先级最高的物料具有前置工艺标识，优先级最低的物料具有过程工艺标识和后置工艺标识；
[0025]其中，当物料具有前置工艺标识时，在物料传输到所述批处理模块之前进行前置工艺；
[0026]当物料具有过程工艺标识时，在物料传输到所述批处理模块之后进行过程工艺；
[0027]当物料具有后置工艺标识时，在物料从所述批处理模块之后进行后置工艺。
[0028]优选地，所述批处理模块为常压化学气相淀积APCVD设备的工艺腔室，所述批处理模块包括热沉积工艺腔室和等离子辅助沉积工艺腔室。
[0029]本发明实施例还公开了一种支持同时加工多片物料的路由控制装置，所述路由控制装置，包括以下模块:
[0030]工艺腔室标定模块，用于将支持同时加工多片物料的工艺腔室标记为批处理模块；
[0031]物料标记模块，用于按照预设规则针对待加工的物料进行标记；其中，所述预设规则包括组号标定规则和优先级标定规则；所述批处理模块具有容量，所述组号标定规则为依据所述批处理模块的容量将待加工的物料划分为一个或多个分组，同一分组的物料具有相同的组标识；所述优先级标定规则为同一分组内的物料按照优先级进行排序；所述物料具有源位置和目标位置；
[0032]第一源位置判断模块，用于在当前物料的源位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有优先级最低的物料；若否，则调用第一允许模块；
[0033]第一允许模块，用于允许所述物料从所述源位置离开；
[0034]第一目标位置判断模块，用于在当前物料的目标位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有物料；若是，则调用第二允许模块；否则，调用第三允许模块；
[0035]第二允许模块，用于在所述物料的组标识与所述批处理模块中物料的组标识相同时允许所述物料传输至所述批处理模块；
[0036]第三允许模块，用于在允许所述物料传输至所述批处理模块。
[0037]优选地，所述路由控制装置，还包括以下模块:
[0038]第二目标位置判断模块，用于在当前物料的目标位置为非批处理模块时，判断所述目标位置是否具有物料；若否，则调用第四允许模块；
[0039]第四允许模块，用于在具有对应的空闲机械臂时允许所述物料传输至所述目标位置。
[0040]优选地，所述路由控制装置，还包括以下模块:
[0041]第二源位置查询模块，用于在当前物料的源位置为非批处理模块时，查询当前物料的目标位置；
[0042]当当前物料的目标位置为批处理模块时，调用第一目标位置判断模块；
[0043]当当前物料的目标位置为非批处理模块时，调用第二目标位置判断模块。
[0044]优选地，所述预设规则还包括工艺标定规则，所述工艺标定规则为同一分组的优先级最高的物料具有前置工艺标识，优先级最低的物料具有过程工艺标识和后置工艺标识；
[0045]其中，当物料具有前置工艺标识时，在物料传输到所述批处理模块之前进行前置工艺；
[0046]当物料具有过程工艺标识时，在物料传输到所述批处理模块之后进行过程工艺；
[0047]当物料具有后置工艺标识时，在物料从所述批处理模块之后进行后置工艺。
[0048]优选地，所述批处理模块为常压化学气相淀积APCVD设备的工艺腔室，所述批处理模块包括热沉积工艺腔室和等离子辅助沉积工艺腔室。
[0049]与【背景技术】相比，本发明包括以下优点:
[0050]本发明通过支持同时加工多片物料的工艺腔室的标记，以及组号标定规则、优先级标定规则，还有工艺标定规则的运用，实现了支持工艺腔室同时加工多片物料的路由控制，使得生产线设备高效率自动化的传片，提高了生产线设备的产率。
【附图说明】
[0051]图1是本发明的一种支持同时