Batch Module中的物料组标识相同，那么此次移动可行；如果Batch Module中有物料,并且此物料的组标识与Batch Module中物料的组标识不相同，那么此次移动不可行。
[0109]在本发明的一种优选实施例中，所述路由控制方法，还可以包括以下步骤:
[0110]步骤108，当当前物料的目标位置为非批处理模块时，判断所述目标位置是否具有物料；若否，则执行步骤109 ；
[0111]步骤109，当具有对应的空闲机械臂时允许所述物料传输至所述目标位置。
[0112]需要说明的是，物料的源位置可以为Batch Module，也可以为非Batch Module。
[0113]当目标位置没有物料且具有对应的空闲机械臂(即负责该源位置与目标位置之间物料传输的空闲机械臂)时，允许所述物料传输至所述目标位置。
[0114]在本发明的一种优选实施例中，所述路由控制方法，还可以包括以下步骤:
[0115]步骤110，当当前物料的源位置为非批处理模块时，查询当前物料的目标位置；
[0116]当当前物料的目标位置为批处理模块时，执行步骤105 ；
[0117]当当前物料的目标位置为非批处理模块时，执行步骤108。
[0118]当当前物料的源位置为非Batch Module时，则可以根据此次移动的目标位置进行判断，本发明实施例在此不再一一详述。
[0119]在本发明的一种优选实施例中，所述预设规则还可以包括工艺标定规则，所述工艺标定规则为同一分组的优先级最高的物料具有前置工艺标识，优先级最低的物料具有过程工艺标识和后置工艺标识；
[0120]其中，当物料具有前置工艺标识时，在物料传输到所述批处理模块之前进行前置工艺；
[0121]当物料具有过程工艺标识时，在物料传输到所述批处理模块之后进行过程工艺；
[0122]当物料具有后置工艺标识时，在物料从所述批处理模块之后进行后置工艺。
[0123]可以理解，同一分组中，除优先级最高的物料存在前置工艺PreRecipe标识、优先级最低的物料具有过程工艺ProcessRecipe标识和后置工艺PostRecipe标识外,其他片物料是不存在工艺标识的。
[0124]需要说明的是，当同一分组的物料在Batch Module进行工艺加工时，加工可以是同时进行的。当物料具有前置工艺PreRecipe标识时，可以在物料传输到Batch Module之前进行的前置工艺Recipe。需要说明的是，不同的Batch Module所对应的前置工艺BatchModule具体可以由用户进行设置，在某些情况下，可以为空。
[0125]当物料具有过程工艺ProcessRecipe标识时,可以在物料传输到Batch Module之后进行的过程工艺Recipe。需要说明的是,不同的Batch Module所对应的过程工艺BatchModule具体可以由用户进行设置，在某些情况下可以为空。
[0126]需要说明的是，当物料具有后置工艺PostRecipe标识时，可以在物料从BatchModule中取走之后进行的后置工艺Recipe。需要说明的是,不同的Batch Module所对应的后置工艺Batch Module具体可以由用户进行设置，在某些情况下可以为空。
[0127]那么对于同一分组中的物料而言，若这组物料要放到Batch Module中，除了第I片(即优先级最高)物料具有前置工艺PreRecipe标识，其它物料是不存在前置工艺PreRecipe标识的。因为如果其它物料，例如第X片物料还存在前置工艺PreRecipe标识，那么就会出现Batch Module中已经放置了物料I至X_1片，X片的前置工艺Recipe会作用于Batch Module中的I至X_1片，这是不允许的。
[0128]同样对于同一分组中的物料而言，若这组物料要放到Batch Module中，除了最后一片(即优先级最低)物料具有过程工艺ProcessRecipe标识和后置工艺PostRecipe标识，其它物料是不存在过程工艺ProcessRecipe标识和/或后置工艺PostRecipe标识的。因为若其它物料，例如第X片物料还存在过程工艺ProcessRecipe标识，第X+1片也存在过程工艺ProcessRecipe标识,那么第X片会进行两次过程工艺ProcessRecipe加工,这是不正确；若其它片物料，例如第X片物料存在后置工艺PostRecipe标识，第X+1片也存在后置工艺标识，那么在Batch Module中取走此组物料后，会出现多次后置工艺加工，这也是不允许的。
[0129]对于方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明实施例并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明实施例，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明实施例所必须的。
[0130]参照图4，示出了本发明实施例的一种支持同时加工多片物料的路由控制装置实施例的结构框图，如图所示，所述系统，可以包括以下模块:
[0131]工艺腔室标定模块401，用于将支持同时加工多片物料的工艺腔室标记为批处理模块；
[0132]物料标记模块402，用于按照预设规则针对待加工的物料进行标记；其中，所述预设规则包括组号标定规则和优先级标定规则；所述批处理模块具有容量，所述组号标定规则为依据所述批处理模块的容量将待加工的物料划分为一个或多个分组，同一分组的物料具有相同的组标识；所述优先级标定规则为同一分组内的物料按照优先级进行排序；所述物料具有源位置和目标位置；
[0133]第一源位置判断模块403，用于在当前物料的源位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有优先级最低的物料；若否，则调用第一允许模块404 ；
[0134]第一允许模块404，用于允许所述物料从所述源位置离开；
[0135]第一目标位置判断模块405，用于在当前物料的目标位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有物料；若是，则调用第二允许模块406 ;否则，调用第三允许模块407 ；
[0136]第二允许模块406，用于在所述物料的组标识与所述批处理模块中物料的组标识相同时允许所述物料传输至所述批处理模块；
[0137]第三允许模块407，用于在允许所述物料传输至所述批处理模块。
[0138]在本发明的一种优选实施例中，所述路由控制装置，还可以包括以下模块:
[0139]第二目标位置判断模块，用于在当前物料的目标位置为非批处理模块时，判断所述目标位置是否具有物料；若否，则调用第四允许模块；
[0140]第四允许模块，用于在具有对应的空闲机械臂时允许所述物料传输至所述目标位置。
[0141]在本发明的一种优选实施例中，所述路由控制装置，还可以包括以下模块:
[0142]第二源位置查询模块，用于在当前物料的源位置为非批处理模块时，查询当前物料的目标位置；
[0143]当当前物料的目标位置为批处理模块时，调用第一目标位置判断模块；
[0144]当当前物料的目标位置为非批处理模块时，调用第二目标位置判断模块。
[0145]在本发明的一种优选实施例中，所述预设规则还可以包括工艺标定规则，所述工艺标定规则为同一分组的优先级最高的物料具有前置工艺标识，优先级最低的物料具有过程工艺标识和后置工艺标识；
[0146]其中，当物料具有前置工艺标识时，在物料传输到所述批处理模块之前进行前置工艺；
[0147]当物料具有过程工艺标识时，在物料传输到所述批处理模块之后进行过程工艺；
[0148]当物料具有后置工艺标识时，在物料从所述批处理模块之后进行后置工艺。
[0149]在本发明的一种优选实施例中，所述批处理模块为常压化学气相淀积APCVD设备的工艺腔室，所述批处理模块包括热沉积工艺腔室和等离子辅助沉积工艺腔室。
[0150]对于装置实