施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
[0151]本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
[0152]尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。
[0153]最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者移动设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者移动设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者移动设备中还存在另外的相同要素。
[0154]以上对本发明实施例所提供的一种支持同时加工多片物料的路由控制方法以及一种支持同时加工多片物料的路由控制装置，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明实施例的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明实施例的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明实施例的思想，在【具体实施方式】及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明实施例的限制。
【主权项】
1.一种支持同时加工多片物料的路由控制方法，其特征在于，所述路由控制方法，包括以下步骤: 将支持同时加工多片物料的工艺腔室标记为批处理模块； 按照预设规则针对待加工的物料进行标记；其中，所述预设规则包括组号标定规则和优先级标定规则；所述批处理模块具有容量，所述组号标定规则为依据所述批处理模块的容量将待加工的物料划分为一个或多个分组，同一分组的物料具有相同的组标识；所述优先级标定规则为同一分组内的物料按照优先级进行排序；所述物料具有源位置和目标位置； 当当前物料的源位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有优先级最低的物料；若否，则允许所述物料从所述源位置离开； 当当前物料的目标位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有物料；若是，则当所述物料的组标识与所述批处理模块中物料的组标识相同时允许所述物料传输至所述批处理模块；否则，允许所述物料传输至所述批处理模块。
2.根据权利要求1所述的支持同时加工多片物料的路由控制方法，其特征在于，所述路由控制方法，还包括以下步骤: 当当前物料的目标位置为非批处理模块时，判断所述目标位置是否具有物料；若否，则当具有对应的空闲机械臂时允许所述物料传输至所述目标位置。
3.根据权利要求1所述的支持同时加工多片物料的路由控制方法，其特征在于，所述路由控制方法，还包括以下步骤: 当当前物料的源位置为非批处理模块时，查询当前物料的目标位置； 当当前物料的目标位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有物料；若是，则当所述物料的组标识与所述批处理模块中物料的组标识相同时允许所述物料传输至所述批处理模块；否则，允许所述物料传输至所述批处理模块； 当当前物料的目标位置为非批处理模块时，判断所述目标位置是否具有物料；若否，则当具有对应的空闲机械臂时允许所述物料传输至所述目标位置。
4.根据权利要求1所述的支持同时加工多片物料的路由控制方法，其特征在于，所述预设规则还包括工艺标定规则，所述工艺标定规则为同一分组的优先级最高的物料具有前置工艺标识，优先级最低的物料具有过程工艺标识和后置工艺标识； 其中，当物料具有前置工艺标识时，在物料传输到所述批处理模块之前进行前置工艺； 当物料具有过程工艺标识时，在物料传输到所述批处理模块之后进行过程工艺； 当物料具有后置工艺标识时，在物料从所述批处理模块之后进行后置工艺。
5.根据权利要求1所述的支持同时加工多片物料的路由控制方法，其特征在于，所述批处理模块为常压化学气相淀积APCVD设备的工艺腔室，所述批处理模块包括热沉积工艺腔室和等离子辅助沉积工艺腔室。
6.一种支持同时加工多片物料的路由控制装置，其特征在于，所述路由控制装置，包括以下模块: 工艺腔室标定模块，用于将支持同时加工多片物料的工艺腔室标记为批处理模块； 物料标记模块，用于按照预设规则针对待加工的物料进行标记；其中，所述预设规则包括组号标定规则和优先级标定规则；所述批处理模块具有容量，所述组号标定规则为依据所述批处理模块的容量将待加工的物料划分为一个或多个分组，同一分组的物料具有相同的组标识；所述优先级标定规则为同一分组内的物料按照优先级进行排序；所述物料具有源位置和目标位置； 第一源位置判断模块，用于在当前物料的源位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有优先级最低的物料；若否，则调用第一允许模块； 第一允许模块，用于允许所述物料从所述源位置离开； 第一目标位置判断模块，用于在当前物料的目标位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有物料；若是，则调用第二允许模块；否则，调用第三允许模块； 第二允许模块，用于在所述物料的组标识与所述批处理模块中物料的组标识相同时允许所述物料传输至所述批处理模块； 第三允许模块，用于在允许所述物料传输至所述批处理模块。
7.根据权利要求6所述的支持同时加工多片物料的路由控制装置，其特征在于，所述路由控制装置，还包括以下模块: 第二目标位置判断模块，用于在当前物料的目标位置为非批处理模块时，判断所述目标位置是否具有物料；若否，则调用第四允许模块； 第四允许模块，用于在具有对应的空闲机械臂时允许所述物料传输至所述目标位置。
8.根据权利要求6所述的支持同时加工多片物料的路由控制装置，其特征在于，所述路由控制装置，还包括以下模块: 第二源位置查询模块，用于在当前物料的源位置为非批处理模块时，查询当前物料的目标位置； 当当前物料的目标位置为批处理模块时，调用第一目标位置判断模块； 当当前物料的目标位置为非批处理模块时，调用第二目标位置判断模块。
9.根据权利要求6所述的支持同时加工多片物料的路由控制装置，其特征在于，所述预设规则还包括工艺标定规则，所述工艺标定规则为同一分组的优先级最高的物料具有前置工艺标识，优先级最低的物料具有过程工艺标识和后置工艺标识； 其中，当物料具有前置工艺标识时，在物料传输到所述批处理模块之前进行前置工艺； 当物料具有过程工艺标识时，在物料传输到所述批处理模块之后进行过程工艺； 当物料具有后置工艺标识时，在物料从所述批处理模块之后进行后置工艺。
10.根据权利要求6所述的支持同时加工多片物料的路由控制装置，其特征在于，所述批处理模块为常压化学气相淀积APCVD设备的工艺腔室，所述批处理模块包括热沉积工艺腔室和等离子辅助沉积工艺腔室。
【专利摘要】本发明实施例提供了一种支持同时加工多片物料的路由控制方法，所述路由控制方法，包括以下步骤：将支持同时加工多片物料的工艺腔室标记为批处理模块；按照预设规则针对待加工的物料进行标记；当当前物料的源位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有优先级最低的物料；若否，则允许所述物料从所述源位置离开；当当前物料的目标位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有物料；若是，则当所述物料的组标识与所述批处理模块中物料的组标识相同时允许所述物料传输至所述批处理模块；否则，允许所述物料传输至所述批处理模块。本发明使得生产线设备高效率自动化的传片，提高了生产线设备的产率。
【IPC分类】G05B19-418
【公开号】CN104656571
【申请号】CN201310578182
【发明人】崔琳
【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年11月18日