加工多片物料的路由控制实施例的步骤流程图；
[0052]图2是本发明的一种APCVD设备的结构示意图；
[0053]图3是图2所示的APCVD设备中的一种物料加工路径流程图；
[0054]图4是本发明的一种支持同时加工多片物料的路由控制装置实施例的结构框图。
【具体实施方式】
[0055]为使本发明实施例的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和【具体实施方式】对本发明实施例作进一步详细的说明。
[0056]参照图1，示出了本发明实施例的一种支持同时加工多片物料的路由控制方法实施例的步骤流程图，如图1所示，所述一种路由控制方法，包括如下步骤:
[0057]步骤101，将支持同时加工多片物料的工艺腔室标记为批处理模块；
[0058]在具体实现中，可以在系统配置文件中标记可以进行多片加工的工艺腔室，以区别进行单片加工的工艺腔室，称其为Batch Module。当然，除Batch Module以外，本发明实施例还可以对支持多片加工的工艺腔室为其他标识，只要能区别可以进行多片加工的工艺腔室和单片加工的工艺腔室即可，本发明实施例对此不加以限制。
[0059]为使本领域技术人员更好地理解本发明，以下提供APCVD设备作为例子来说明本发明实施例的应用实现过程。
[0060]参照图2，示出了本发明的一种APCVD设备的结构示意图。如图2所示，该APCVD包括:
[0061]两个LoadPort:装载物料的容器，包含多个槽，每个槽都可以容纳一片物料，内有25个Slot (可以放置物料的容器中一个放置物料的位置)，其中存放的物料包括5寸、6寸和8寸三种形式；
[0062]一个LoadLock:—个可以密封的容器，在大气和真空机件之间传输物料起到缓冲作用，可以放置I片物料；
[0063]一个ExternalValve:位于LoadPort和LoadLock之间的一个阀门，只有当此阀门开启时，物料才能在LoadPort和LoadLock之间传输；
[0064]—个TC (Transfor Cambe):形成真空环境,真空端单臂机械手所在的腔室,其周边装有多个工艺腔室；
[0065]一个InternalValve:位于LoadLock和TC之间的一个阀门，只有当此阀门开启时，物料才能在LoadLock和TC腔之间传输；
[0066]一个PM:工艺腔室，用于进行相应的工艺操作，对于不同尺寸的物料，托盘中存放的物料个数也不一致。8寸最多可以放5片,6寸最多可以放8片，5寸最多可以放10片,托盘中用于存放物料的位置称为“Pocket” ；
[0067]一个GateValve:位于TC和工艺腔室之间的阀门，只有当此阀门开启时，物料才能在TC和PM之间传输；
[0068]一个大气端单臂机械手，用于LoadPort和LoadLock之间的传片
[0069]一个真空端单臂机械手，用于LoadLock与TC，以及TC与PM之间的物料传输。
[0070]参照图3，示出了图2所示的APCVD设备中的一种物料加工路径流程图。如图3所示，物料的加工路径可以为:
[0071]1、大气端单臂机械手(Robot)将LoadPort中的物料放置到校准器(Aligner)上校准；
[0072]2、开启 ExternalValve ；
[0073]3、大气端单臂机械手将物料从校准器上移动到LoadLock中；
[0074]4、LoadLock完成气压转换；
[0075]5、开启 InternalValve ；
[0076]6、真空端单臂机械手从LoadLock中取片；
[0077]7、开启 GateValve ；
[0078]8、真空端单臂机械手将物料放置到PM中；
[0079]9、物料在PM中进行加工；
[0080]10、当加工完毕后，打开GateValve ;
[0081]11、真空端单臂机械手从PM中取出物料；
[0082]12、打开 InternalValve ；
[0083]13、真空端单臂机械手将物料放置到LoadLock中；
[0084]14、LoadLock完成气压转换；
[0085]15、打开 ExternalValve ;
[0086]16、大气端单臂机械手将物料从LoadLock中移至LoadPort中。
[0087]自此，物料完成了一次加工。
[0088]在本发明的一种优选实施例中，所述Batch Module为常压化学气相淀积APCVD设备的工艺腔室，所述Batch Module包括热沉积工艺腔室和等离子辅助沉积工艺腔室。
[0089]其中，所述热沉积工艺腔室，用于进行热沉积；
[0090]所述等离子辅助沉积工艺腔室，用于进行等离子辅助沉积。
[0091]步骤102，按照预设规则针对待加工的物料进行标记；
[0092]具体而言，所述预设规则可以包括组号标定规则和优先级标定规则；
[0093]其中，所述批处理模块具有容量；，所述组号标定规则为依据所述批处理模块的容量将待加工的物料划分为一个或多个分组，同一分组的物料具有相同的组标识；
[0094]需要说明的是，在设备硬件确定后，BatchModule的容量是一样的。但是用户可以设定在BatchModule中可以设定使用多少个位置进行工艺加工(如果某个位置没有设置可以进行物料的工艺加工，那么这个位置就不能放置物料)。
[0095]根据Batch Module的容量，对待加工的物料进行分组，同一分组中物料的数量不能超过Batch Module的容量。例如，Batch Module的容量为Cl，待加工的物料的第I片至第Cl片分为一组，组号为I ?’第C1+1至2C1分为一组，组号为2 ;第2C1+1至3C1分为一组，组号为3，依此类推，直到将待加工的物料分组完成。
[0096]所述优先级标定规则为同一分组内的物料按照优先级进行排序；
[0097]在实际应用中，可以对待加工的物料设置序号，同一分组中按序号大小划分优先级；其中，序号最小的物料的优先级最高，序号最大的物料的优先级最低。
[0098]当同一分组的物料从Batch Module中取走时,优先级高的物料可以先从BatchModule中取走。
[0099]所述物料可以具有源位置和目标位置；
[0100]在实际应用中，可以在搜索树上判断某分支是否可行，所述源位置和目标位置为该分支的移动。
[0101]步骤103，当当前物料的源位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有优先级最低的物料；若否，则执行步骤104 ；
[0102]步骤104，允许所述物料从所述源位置离开；
[0103]当物料的源位置为Batch Module时，需要整组物料取走。具体实现中，当BatchModule中没有包含当前分组的最后一片物料(即优先级最低的物料)，那么用于运输的装载器中已经包含了 Batch Module所涉及分组的所有物料，那么此次移动可行；如果BatchModule中包含所涉及组的最后一片物料，那么用于运输的装载器中没有包含Batch Module所涉及分组的所有物料，那么此次移动不可行。
[0104]步骤105，当当前物料的目标位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有物料；若是，则执行步骤106，否则，执行步骤107。
[0105]步骤106，当所述物料的组标识与所述批处理模块中物料的组标识相同时允许所述物料传输至所述批处理模块；
[0106]步骤107，允许所述物料传输至所述批处理模块。
[0107]需要说明的是，物料的源位置可以为Batch Module，也可以为非Batch Module。
[0108]如果Batch Module (目标位置)中没有物料，此次移动可行；如果Batch Module中有物料，并且此物料的组标识与