N型ldmos器件及工艺方法技术资料下载

技术编号:8341330

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DM0S由于具有耐高压,大电流驱动能力和极低功耗等特点,目前在电源管理电路 中被广泛采用。在B⑶工艺中,DM0S虽然与CMOS集成在同一块芯片中,但由于高耐压和低 导通电阻的要求,DM0S在本底区和漂移区的条件与CMOS现有的工艺条件共享的前提下,其 导通电阻与击穿电压存在矛盾,往往无法满足开关管应用的要求。在LDM0S器件中,导通电 阻是一个重要的指标。因此,为了制作高性能的LDM0S,需要采用各种方法优化器件的导通 电阻及击穿电压。 目前常规的LDM...
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