感光性树脂组合物、使用其的图案的制造方法技术资料下载

技术编号:8344554

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本发明涉及一种感光性树脂组合物以及使用其的图案的制造方法。进而,涉及一 种包含上述图案制造方法的有机电致发光(Electro-Luminescence,EL)显示装置或者液 晶显示装置的制造方法、以及利用图案制造方法来制造的图案。更详细而言,涉及一种适合 于形成液晶显示装置、有机EL显示装置等的电子零件的蚀刻抗蚀剂的正型感光性树脂组 合物以及使用其的图案的制造方法。背景技术 有机EL显示装置或液晶显示装置等中设置有形成有图案的氧化铟锡(Indium Ti...
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