感光性树脂组合物、使用其的图案的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种感光性树脂组合物以及使用其的图案的制造方法。进而，涉及一 种包含上述图案制造方法的有机电致发光（Electro-Luminescence，EL)显示装置或者液 晶显示装置的制造方法、以及利用图案制造方法来制造的图案。更详细而言，涉及一种适合 于形成液晶显示装置、有机EL显示装置等的电子零件的蚀刻抗蚀剂的正型感光性树脂组 合物以及使用其的图案的制造方法。
【背景技术】
[0002] 有机EL显示装置或液晶显示装置等中设置有形成有图案的氧化铟锡（Indium Tin Oxide，IT0)膜等金属配线图案。该ITO膜等的图案形成中，如下方法已广为人知：在ITO膜 上涂布感光性树脂组合物，并且去除溶剂，进行曝光、显影，将所形成的图案作为掩模对ITO 膜进行蚀刻来实施加工。
[0003] 另外，近年来，为了将有机EL显示装置或液晶显示装置设为高精细的显示特性， 而要求ITO加工的高解析性。为了对ITO进行高精细的微细加工，要求在蚀刻时发挥作为 掩模的功能的感光性树脂组合物的高解析性。因此，正在研宄获得高精细且微细的图案形 状的感光性树脂组合物（例如专利文献1、专利文献2等）。
[0004] [现有技术文献]
[0005] [专利文献]
[0006] [专利文献1]日本专利特开平9-325473号公报
[0007] [专利文献2]日本专利特开平10-326015号公报
【发明内容】
[0008] 发明要解决的课题
[0009] 然而，随着近年来的技术开发，要求感度、线宽稳定性、解析性以及矩形性进一步 提高的感光性树脂组合物。本申请发明是出于解决上述要求的目的而成，目的在于提供一 种感度、线宽稳定性、解析性以及矩形性进一步提高的感光性树脂组合物。
[0010] 解决问题的技术手段
[0011] 基于上述状况，本申请发明人进行积极研宄，结果发现，通过包含规定的聚合物、 脂环式环氧化合物、以及规定的溶剂，而可提高感度、线宽稳定性、解析性以及矩形性，从而 完成本发明。
[0012] 具体而言，通过下述手段〈1>，优选为通过〈2>~〈13>，来解决上述问题。
[0013] 〈1> 一种感光性树脂组合物，其含有：
[0014] (Al)聚合物成分，包含包括下述通式（1)所表示的构成单元（al)的聚合物；
[0015] (B)光酸产生剂；
[0016] (C)脂环式环氧化合物；以及
[0017] (Dl)分子内含有2个以上乙酸酯结构的溶剂；
[0018] [化 1]
[0019]
【主权项】
1. 一种感光性树脂组合物，其含有： (Al)聚合物成分，包含包括下述通式（1)所表示的构成单元（al)的聚合物； (B) 光酸产生剂； (C) 脂环式环氧化合物；以及 (Dl)分子内含有2个以上乙酸酯结构的溶剂； [化1]
(通式（1)中，R1及R2分别独立地表示氢原子、烷基或者芳基，至少R1及R 2的任一个 为烷基或者芳基；R3表示烷基或芳基，R 1或R2能够与R3连结而形成环状醚；R4表示氢原子 或者甲基）。
2. 根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述（C)脂环式环氧化合物为下述 通式（I)所表示的化合物： [化2]
(所述通式⑴中，η表示1~4的整数；R1表示碳数1~15的有机基）。
3. 根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中所述通式（I)所表示的化合物中的 η为1或2。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其进而包含（Α2)聚合物成 分，所述（Α2)聚合物成分包括具有由酸分解性基所保护的保护羧基的构成单元（a4)。
5. 根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，其中所述构成单元（a4)为下述通式 (A2< )所表示的构成单元， [化3]
(通式（A2')中，R1及R2分别独立地表示氢原子、烷基或者芳基，至少R1及R 2的任一 个为烷基或者芳基，R3表示烷基或芳基，R1或R2能够与R3连结而形成环状醚，R 4表示氢原 子或者甲基，X°表示单键或者亚芳基）。
6. 根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中相对于总固体成分量， 所述（C)脂环式环氧化合物的含量为0.05质量％~5质量％。
7. 根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其包含所述（Dl)分子内含 有2个以上乙酸酯结构的溶剂、及与所述（Dl)分子内含有2个以上乙酸酯结构的溶剂不同 的其他溶剂（D2)。
8. 根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物，其中所述（Dl)分子内含有 2个以上乙酸酯结构的溶剂的沸点为130°C以上且小于300°C。
9. 根据权利要求1至8中任一项所述的感光性树脂组合物，其中所述（Dl)分子内含有 2个以上乙酸酯结构的溶剂的含量为所述感光性树脂组合物的1质量％~10质量％。
10. -种图案的制造方法，其包括： (1) 在基板的至少一面涂布根据权利要求1至9中任一项所述的感光性树脂组合物的 工序； (2) 通过干燥，使有机溶剂挥发而形成感光性树脂组合物层的工序； (3) 对所述感光性树脂组合物层进行曝光的工序；以及 (4) 对经曝光的所述感光性树脂组合物层进行显影的工序。
11. 根据权利要求10所述的图案的制造方法，其包括：使用所形成的图案作为蚀刻用 抗蚀剂进行蚀刻的工序、以及通过等离子体处理或者化学品处理而去除所述图案的工序。
12. -种硬化膜，其是使根据权利要求1至9中任一项所述的感光性树脂组合物硬化而 成。
13. -种有机电致发光显示装置或者液晶显示装置的制造方法，其包括根据权利要求 10或11所述的图案的制造方法。
【专利摘要】本发明提供一种感度、线宽稳定性、解析性以及矩形性优异的感光性树脂组合物。上述感光性树脂组合物含有：(A1)包含包括下述通式(1)所表示的构成单元(a1)的聚合物的聚合物成分、(B)光酸产生剂、(C)脂环式环氧化合物、以及(D)分子内含有2个以上乙酸酯结构的溶剂(通式(1)中，R1及R2分别独立地表示氢原子、烷基或者芳基，至少R1及R2的任一个为烷基或者芳基；R3表示烷基或芳基，R1或R2可与R3连结而形成环状醚；R4表示氢原子或者甲基)。
【IPC分类】C08F12-22, G03F7-039, G03F7-004, H05B33-10, G02F1-1333, H01L51-50, C08F20-26, H01L21-027
【公开号】CN104662476
【申请号】CN201380050374
【发明人】藤本进二, 柏木大助, 佐竹亮, 真崎庆央
【申请人】富士胶片株式会社
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年8月8日
【公告号】WO2014050324A1