技术编号：8344675
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 在以硬盘驱动器为代表的磁记录领域，作为磁记录介质中的磁性薄膜的材料，使 用以作为强磁性金属的Co、Fe或Ni为基质的材料。例如，采用面内磁记录方式的硬盘的磁 性薄膜一直使用以Co为主要成分的Co-Cr基或Co-Cr-Pt基强磁性合金。另外，采用近年 来已实用化的垂直磁记录方式的硬盘的磁性薄膜多使用包含以Co为主要成分的Co-Cr-Pt 基强磁性合金与非磁性无机物粒子的复合材料。并且，从生产率高的观点出发，上述磁性薄 膜多数情况下利用DC磁控溅射装置使用以...
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