技术编号:8362987
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在质量分析装置中,将离子化的测定试样用质量分析部进行质量分析。质量分析部收纳在真空舱内,保持为0.1Pa以下的高真空,另一方面,测定试样的离子化通过US7064320公开的在大气压下进行离子化的方式或US4849628公开的在10?10Pa左右的较小气压下进行离子化的方式来进行,因此进行离子化的环境下的压力和进行质量分析的环境下的压力之间存在压力差。因此,为了在使质量分析部的真空度(压力)维持在可进行质量分析的范围内的状态下将离子化的测定试样导入质量分析部...
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