技术编号:8380297
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体工厂自动化,特别是涉及一种工艺流程控制方法以及工艺流程控制系统。背景技术半导体制造业是一个高科技行业,也是一个高投资的行业。半导体制造工厂为了实现其运营目标,提高生产力,其生产控制活动的自动化程度越来越高。自动化处理每一道工序对集成电路生产的良率和效率都起着至关重要的作用。因此在集成电路制造中使每一道工序都能自动化处理一直是各个企业竭尽全力追求的目标。在集成电路的生产制造中,每一片晶圆从原物料到最终成品都需要经过成百乃至上千道工序。正常情况...
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