工艺流程控制方法以及工艺流程控制系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体工厂自动化技术领域，特别是涉及一种工艺流程控制方法以及工艺流程控制系统。
【背景技术】
[0002]半导体制造业是一个高科技行业，也是一个高投资的行业。半导体制造工厂为了实现其运营目标，提高生产力，其生产控制活动的自动化程度越来越高。自动化处理每一道工序对集成电路生产的良率和效率都起着至关重要的作用。因此在集成电路制造中使每一道工序都能自动化处理一直是各个企业竭尽全力追求的目标。
[0003]在集成电路的生产制造中，每一片晶圆从原物料到最终成品都需要经过成百乃至上千道工序。正常情况下，晶圆都是按照预先设定好的工艺流程一步一步进行制造处理的。这些设定好的流程会预先存放在系统中，在处理晶圆时，系统根据预先设定好的流程自动进行处理。但在很多种情况下，晶圆必须根据制程工程师的要求在某个流程位置上进行特殊的工艺制造处理，比如:指定机台的处方优化(某个晶圆组某些指定的晶圆在这个机台上用预先设定好的处方制造，其他晶圆用优化处方制造)，新机台的发布(某个晶圆组某些指定的晶圆在已经发布的机台上用预先设定好的处方制造，其他晶圆在新机台上用预先设定好的处方制造)。并且所述晶圆被特殊处理之后，操作员根据制程工程师的要求，将所述晶圆停留(hold)在某个特定的工艺工序上，等待工程师检查或做进一步处理。所以，分批执行特殊工艺处理(SRC)在集成电路制造中具有非常广泛的应用。
[0004]在集成电路的生产制造中几乎所有的实验性需求都需要工程师填写SRC执行单，对晶圆组分批执行特殊工艺处理。其中，炉管机台批量处理的自动化实现是实现分批执行特殊工艺处理自动化系统的一个难点。因为炉管机台需要将产品晶圆和控档片晶圆进行批量(batch)处理，所以，在炉管机台进行工艺处理时，产品晶圆的程式(recipe)和控档片晶圆的程式(recipe)必须相同，从而造成炉管机台批量处理要比其他机台更为复杂。因此，炉管机台批量处理的自动化实现也是实现分批执行特殊工艺处理自动化系统的一个难点。
[0005]在现有技术中，炉管机台需要执行特殊工艺处理时，往往通过手工处理，无法实现自动化处理。在手工处理炉管机台的特殊工艺处理时，主要会产生如下问题:
[0006]1、容易发生错误操作，造成轻则晶圆报废、机台污染；
[0007]2、由于处理过程没有经过自动化系统，因此在系统中没有处理过程的纪录，不利于查找问题和跟踪处理；
[0008]3、整个手工处理过程不仅风险高、负荷高，而且会增加晶圆的生产周期，减少线上的产出，导致生产效率低下。
[0009]因此，如何提供一种工艺流程控制方法以及工艺流程控制系统，能够提高半导体制造自动化的控制效率，已成为本领域技术人员需要解决的问题。
【发明内容】
[0010]本发明的目的在于，提供一种工艺流程控制方法以及工艺流程控制系统，能够提高半导体制造自动化的控制效率，降低误操作，提高生产效率。
[0011]为解决上述技术问题，本发明提供一种工艺流程控制方法，用于对待处理的产品晶圆组在工艺机台上进行批量处理，预先设置特殊工艺流程、正常工艺流程和公共档控片工艺流程，所述工艺流程控制方法包括:
[0012]步骤一:判断所述待处理的产品晶圆组中是否含有需执行特殊工艺流程的产品晶圆组，如果没有需执行特殊工艺流程的晶圆组，则进行步骤二；如果有需执行特殊工艺流程的晶圆组，则进行步骤三；
[0013]步骤二:按照正常工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理；
[0014]步骤三:将所述公共档控片的程式设置为所述特殊工艺流程中的所述工艺机台的程式，使用所述公共档控片工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理。
[0015]进一步的，在所述工艺流程控制方法中，如果有需执行特殊工艺流程的晶圆组，所述工艺流程控制方法还包括:
[0016]判断所述特殊工艺流程的产品晶圆组中的是否具有正常的产品晶圆，如果有正常的产品晶圆，则进行步骤二 ；如果没有正常的产品晶圆，则进行步骤三。
[0017]进一步的，在所述工艺流程控制方法中，通过所述待处理的产品晶圆组的属性值来判断所述特殊工艺流程的产品晶圆组中的是否具有正常的产品晶圆。
[0018]进一步的，在所述工艺流程控制方法中，所述工艺流程控制方法还包括:
[0019]在进行步骤一之前，将所述待处理的产品晶圆组预先停留在需进行批量处理的工序;
[0020]在进行对所述待执行晶圆组进行批量处理之后，所述待处理的晶圆组依照各自的工艺流程进入到下一步工序，并等待后续处理。
[0021]进一步的，根据本发明的另一面，本发明还提供一种工艺流程控制系统，用于对待处理的产品晶圆组在工艺机台上进行批量处理，包括:
[0022]工艺流程存储模块，存储有预先设置的特殊工艺流程、正常工艺流程；
[0023]公共档控片工艺流程设置模块，用于设置公共档控片工艺流程；
[0024]批量处理模块，用于判断一待处理的产品晶圆组中是否含有需执行特殊工艺流程的产品晶圆组，当所述待处理的产品晶圆组中没有需执行特殊工艺流程的晶圆组，所述批量处理模块按照正常工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理；当所述待处理的产品晶圆组中全部都是需执行特殊工艺流程的晶圆组，所述批量处理模块将所述公共档控片的程式设置为所述特殊工艺流程中的所述工艺机台的程式，使用所述公共档控片工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理。
[0025]进一步的，在所述工艺流程控制系统中，所述批量处理模块还用于判断所述特殊工艺流程的产品晶圆组中的是否具有正常的产品晶圆:
[0026]如果有需执行特殊工艺流程的晶圆组，所述批量处理模块判断所述特殊工艺流程的产品晶圆组中的是否具有正常的产品晶圆，如果有正常的产品晶圆，所述批量处理模块按照正常工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理；如果没有正常的产品晶圆，所述批量处理模块将所述公共档控片的程式设置为所述特殊工艺流程中的所述工艺机台的程式，使用所述公共档控片工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理。
[0027]进一步的，在所述工艺流程控制系统中，所述批量处理模块通过所述待处理的产品晶圆组的属性值来判断所述特殊工艺流程的产品晶圆组中的是否具有正常的产品晶圆。
[0028]进一步的，在所述工艺流程控制系统中，所述工艺流程控制系统还包括特殊工艺流程配置模块和特殊工艺流程执行模块，所述特殊工艺流程配置模块用于设置待处理的产品晶圆在每一工序的工艺参数，所述特殊工艺流程执行模块对所述待处理的产品晶圆进行工艺流程变更的动作，将所述待处理的产品晶圆从所述正常工艺流程变更到所述特殊工艺流程上；当特殊流程的所有步骤执行完毕后，所述特殊工艺流程执行模块将所述待处理的产品晶圆从所述特殊工艺流程变更到所述正常工艺流程的指定步骤。
[0029]进一步