技术编号：8382448
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。气-液-固法(Vapor-Liquid-Solid, VLS)是目前生长纳米线的主要工艺技术，采用VLS机制的生长方法的主要工艺步骤包括首先在衬底表面上沉积一薄层具有催化作用的金属(例如，金Au)，然后进行升温加热，利用金属与衬底的共晶作用形成合金液滴；然后，通过源气体(例如，硅烷Silane)的气相输运或者固体靶的热蒸发，使参与生长纳米线的原子在液滴处凝聚成核；当这些原子数量超过液相中的平衡浓度以后，结晶会在合金液滴的下部析出并生长成纳米晶须(例如，娃纳...
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