技术编号：8426270
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及。背景技术硬盘装置等中使用的磁性记录介质例如具有晶种膜、基膜、磁性记录膜、保护膜和润滑剂膜依次形成于非磁性基板的一个或两个表面的结构，且通常，这种磁性记录介质通过在输送保持基板的载体的同时执行成膜工序的连续式成膜装置制造(例如，专利文献I和专利文献2)。专利文献I披露的连续式成膜装置具有执行成膜工序的多个室通过闸阀连接的结构。在每个室中，围绕水平轴线转动的多个转动体被成排地设置于载体的输送方向上，且载体由多个转动体引导。此外，在每个室中，围绕铅...
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