技术编号：8432204
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在液晶显示器和光伏装置的制造中，涉及到用于使非晶多晶薄膜(例如，非晶多晶硅薄膜)结晶的热处理工艺。此处，如果使用玻璃作为衬底，那么可通过使用激光来使非晶多晶薄膜结晶。然而，当非晶多晶薄膜与氧气(O2)反应时，非晶多晶薄膜可能会被氧化而产生氧化物薄膜并且还被杂质污染或者造成性质改变。根据现有技术的激光衬底处理设备包含处理室10，具有对衬底I进行处理的内部空间；台2，设置在处理室10中以沿工艺进行方向来移动置于其上的衬底；透射窗40，设置在处理室10的上方部分...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。