技术编号:8453250
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。ITO是Tin-doped Indium Oxide的缩写名称,ITO革E材的含义是指一种铟锡氧化物材料,用ITO靶材磁控溅射得到的ITO薄膜具有对可见光高透过率、对红外线高反射率、对紫外线高吸收率、高导电性等诸多优异性能。密度是ITO靶材最重要的技术指标,直接影响着ITO靶材的使用效率和ITO镀膜的品质,一般来说,ITO靶材的密度越高,越不易结瘤,镀膜性能越好,使用寿命也越长,对于平板显示等高端应用领域,则要求ITO靶材的致密度必须达到99.7%以上。目...
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