技术编号：8458338
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种半导体器件，包括存储器单元区和逻辑电路区。存储器单元位于存储器单元区中，并且每个存储器单元包括存储器电容器和晶体管。平滑电容器和其他元件位于逻辑电路区中。通常，在制造这种半导体器件时，由一个膜制成的电容器绝缘膜有时被用于存储器单元区中的存储器电容器以及逻辑电路区中的平滑电容器两者。近年来，需要存储器电容器减小电容器绝缘膜厚度使得能够低电压运行，此外，还需要平滑电容器带有具有足够厚度的电容器绝缘膜以抑制漏电流。因此，很难用一个膜制成的电容器绝缘膜同时满足...
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