具有偏移单元的垂直自旋转移扭矩存储器(sttm)器件及其形成方法技术资料下载

技术编号:8491872

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过去几十年间,集成电路中特征的缩放已经是不断增长的半导体产业的驱动力。缩放到越来越小的特征能够实现半导体芯片有限的面积上功能单元的增大的密度。例如,缩放晶体管尺寸容许在芯片上并入增加数量的存储器器件,导致制造具有更大能力的产品。然而,对越来越大能力的驱动并非没有问题。优化每个器件的性能的必要性变得越来越重要。自旋扭矩器件的工作基于自旋转移扭矩现象。如果使电子电流通过被称为固定磁性层的磁化层,其在离开时会发生自旋极化。在快速行进隧穿过程的每一个合格电子通过电...
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