技术编号:8500592
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在以液晶显示器为代表的平板显示器的制造中,为了在不损伤如薄玻璃之类的基板的状态下进行搬运,利用使基板浮起而进行搬运的搬运装置。这种搬运装置通常具备喷出压缩空气的浮起装置,而且具备与浮起的基板接触并对基板施加驱动力的带式输送机或辊式输送机。附着在玻璃基板上的灰尘和其表面的伤痕对显示器的质量带来重大的影响。灰尘的附着和表面的伤痕的主要原因之一是,玻璃基板与搬运装置等接触。另一方面,玻璃基板由于例如其厚度为0.7mm或者其以下而具有挠性,因此为了防止搬运中的接触...
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