搬运装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及使如薄玻璃之类的基板浮起而进行搬运的搬运装置。
【背景技术】
[0002]在以液晶显示器为代表的平板显示器的制造中，为了在不损伤如薄玻璃之类的基板的状态下进行搬运，利用使基板浮起而进行搬运的搬运装置。这种搬运装置通常具备喷出压缩空气的浮起装置，而且具备与浮起的基板接触并对基板施加驱动力的带式输送机或辊式输送机。
[0003]附着在玻璃基板上的灰尘和其表面的伤痕对显示器的质量带来重大的影响。灰尘的附着和表面的伤痕的主要原因之一是，玻璃基板与搬运装置等接触。另一方面，玻璃基板由于例如其厚度为0.7mm或者其以下而具有挠性，因此为了防止搬运中的接触而重视将基板保持平坦的状态下进行搬运的技术。近年来希望得到更薄的玻璃，而将该玻璃保持平坦的状态下进行搬运将越来越困难。
[0004]专利文献I公开了具备带式输送机的搬运装置的技术。根据该技术，带具备以等间隔配置的突起，通过突起与浮起的玻璃基板接触，来搬运该玻璃基板。
[0005]专利文献2公开了具备辊式输送机的搬运装置的技术。根据专利文献2，将“玻璃基板的通路线中央部较大地向上方浮起或下垂的弯曲变得明显”这一情况作为技术问题。为了解决该技术问题，通过调节来自宽度方向中央位置的气动工作台单元的气体供给量，抑制玻璃基板的弯曲。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本专利申请公开2008 - 066661号
[0009]专利文献2:日本专利申请公开2008 - 260591号
【发明内容】
[0010]发明要解决的问题
[0011]如上所述的技术能够将玻璃基板大致保持平坦。但是，对于在搬运方向上的前端的挠曲等局部的挠曲，仍然存在技术问题。即，在玻璃基板从一个辊子向下一个辊子移动时，或者从一个搬运装置向下一个搬运装置移动时，由于不存在用于支撑前端的部件，因此前端因自重而向下方挠曲。存在前端容易与辊子或搬运装置碰撞的问题。
[0012]本发明是鉴于上述问题而完成的。本发明人发现，违反如上所述的技术常识，仅将玻璃基板的宽度方向的两端平坦地支撑，反而使玻璃基板的中央部稍微挠曲，从而能够抑制前端的挠曲，由此想到了本发明。
[0013]为了解决问题的方法
[0014]根据本发明的一个方案，用于通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备:浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，并且构成为与上述对象物接触并向上述第一方向进行驱动；以及吸引部，与上述搬运部邻接并平行地延伸、或者与上述搬运部在同一直线上并排地配置，并且对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触。
[0015]发明的效果
[0016]能够防止基板的前端挠曲，能够防止基板与搬运装置等碰撞。
【附图说明】
[0017]图1是表示本发明的一个实施方式的搬运装置的一部分的立体图。
[0018]图2是本实施方式的搬运装置的三视图。
[0019]图3是本实施方式的浮起部的立面剖视图。
[0020]图4是本实施方式的吸引部的立面剖视图。
[0021]图5是本实施方式的吸引部及搬运部的立视图。
[0022]图6是表示在搬运部中基板被保持平坦的状态的立视图。
[0023]图7是表示基板在中央附近挠曲的状态的侧视图。
[0024]图8是表示另一个实施方式的搬运装置的一部分的立体图及侧视图。
[0025]图9是表不再一个实施方式的搬运装置的一部分的立体图及俯视图。
[0026]图10是表示通过中央附近挠曲而防止前端的挠曲的状态的基板的立体图。
[0027]图11是用于说明验证装置的结构的说明图。
[0028]图12是表示验证结果的曲线图。
【具体实施方式】
[0029]以下，参照【附图说明】本发明的几个示例性的实施方式。
[0030]本发明的实施方式的搬运装置能够适合用于，例如在无尘室内对如玻璃基板之类的薄的对象物进行搬运。在玻璃基板的情况下，不仅能够将厚度0.7mm左右的基板作为对象，而且还能够将厚度0.1?0.3mm左右的极薄的基板作为对象。
[0031]参照图1，本发明的一个实施方式的搬运装置100具备:使工件W(对象物)浮起的浮起部116 ;使工件W向方向X(第一方向)驱动的搬运部112 ;以及使工件W与搬运部112接触的吸引部112a。搬运部112具备多个突起114。浮起部116具备喷出气体的开口116a，所喷出的气体对工件W施加正压，从而工件W浮起。与此相反，吸引部112a对工件W施加负压，通过吸引工件W而使工件W与突起114的前端接触。搬运部112通过马达等机构向箭头X的方向移动，因此随之工件W向方向X被搬运。也可以没有浮起部116，而仅利用搬运部112对工件W进行支撑并搬运。
[0032]参照图2更详细地进行说明。搬运部112和浮起部116都支撑在支撑台118上，支撑台118经由支撑脚118a设置在无尘室的地板或地面网板之上。浮起部116配置在支撑台118上，例如沿方向X配置多个浮起部116，而且在与方向X正交的方向(宽度方向)上也配置多个浮起部116。配置的个数能够自由选择，因此，装置的结构能够根据对象物的大小来任意改变。搬运部112通常配置在多个浮起部116的宽度方向两端，但也可以进行其他的配置。
[0033]参照图3，浮起部116其整体为箱型，其上表面大致平坦。在浮起部116的内部设有相互连通的空腔116b，空腔116b与外部的气体供给装置122连通。气体供给装置122是将空气或氮气之类的气体G进行加压后供给到浮起部116的泵或压缩机。
[0034]既可以在一个浮起部116上连结一个气体供给装置122，也可以在多个浮起部116上连结单个的气体供给装置122。另外，气体供给装置122既可以直接与空腔116b连通，也可以使储存一定量的压缩气体的腔室介于它们之间。
[0035]与空腔116b连通，开口 116a贯穿浮起部116的上表面而向上方设置开口。开口116a可以是例如图1、2所示的圆形的切口，也可以采用矩形或多个切口、或者多个小孔等各种形状。另外，开口 116a既可以沿铅垂方向贯穿上表面，也可以相对于上表面具有倾斜。或者，浮起部116的上表面的一部分或全部是具有通气性的网状体或多孔体。
[0036]由气体供给装置122供给的被加压的气体G，经过空腔116b从开口 116a喷出。所喷出的气体G在工件W与浮起部116之间产生被加压的空间P，从而对工件W加压而施加浮起力。此时，不仅通过所喷出的气体G与工件W冲撞而产生的力成为浮起力的来源，而且所碰撞的气体G向周围分散的过程中产生的静压也成为浮起力的来源。因此，可由比较小的加压力来获得较大的浮起力，能量转换效率也优良。
[0037]返回参照图2，搬运部112—般是具备在两个以上的轮110之间回转的无接头的带的带式输送机。轮110分别由框102支撑。如上所述，搬运部112配置在多个浮起部116的宽度方向两端，其带的朝向为沿方向X延伸。
[0038]轮110与轴IlOa结合，轴IlOa轴支撑在框102的支撑孔102a内，从而轮110能够绕该轴进行旋转。轴IlOa与齿轮IlOb结合，并且一体旋转。为了进行结合，例如，可以采用相互嵌合的键和键槽的组合，也可以代替嵌合，而采用一体结构。
[0039]搬运装置100还具备如电动马达之类的驱动装置110c。驱动装置IlOc具备与齿轮IlOb啮合的齿轮110d，从而通过驱动装置IlOc的驱动而使轮110旋转，搬运部112在轮110之间回转。或者驱动装置也可以直接对轮进行驱动，或者还可以使适当的齿轮、小齿轮装置介于它们之间。
[0040]搬运部112具备从带突出的多个突起114。多个突起114沿方向X并排配置。突起114可以与带成一体，也可以是分体结构且与带卡合。如后所述，突起114形成为比工件W的浮起高度稍微高。其形状可以是圆筒、长方体、锥体或其他任何形状。另外，其前端也可以是平坦，或者是球形或锥形以减小与工件W的接触面积。而且，前端也可以具有朝向浮起部116下降的倾斜。对于该方式在后面进行叙述。
[0041]吸引部112a配置成与搬运部112在同一直线上并排。该直线必然与方向X平行。更优选，吸引部112a与突起114位于同一直线上。在此所谓同一直线上是指，不要求两者严格地在单一的直线上并排，而是能够以不超出一定的宽度的程度脱离直线。例如，若带的宽度为50mm，则允许的宽度是距离带的中央为20mm左右。
[0042]参照图4，吸引部112a优选与带成一体，具备与带下的空间连通的贯穿孔。吸引部112a从该贯穿孔吸引工件W正下方的气体G’，从而使负压NP作用于工件W。气体G’可以与上述的气体G相同，也可以是其他气体。
[0043]配合图4参照图5，吸引部112a形成为比突起114稍低，从而在吸引部112a与工件W之间确保适当的间隙。气体G’经过该间隙而被吸引。或者，也可以是相同的高度。在此情况下，若吸引部112a吸引气体G’，则工件W与吸引部112a密合。
[0044]在吸引部112a的下方，以与此密合的方式设有减压室120。减压室120与泵或压缩机之类的吸引的气体G’的机构连接，对其内部的空间120a进行减压。吸引部112a的贯穿孔112b通过与空间120a连通，来吸引气体G’。吸引部112a与空间120a可以始终连通，也可以仅在贯穿孔112b经过特定的位置时连通。
[0045]吸引部112a和突起114优选交替配置。吸引部112a和突起114可以如图所示按2:1的比例进行配置，或者可以采用1:1或1:2等其他任意的比例。
[0046]根据本实施方式，如图6(a)所示，吸引部112a对工件W施加负压，使工件W的端部与突起114接触。突起114与吸引部112a位于同一直线上，因此工件W的端部不会偏向一侧被吸引，而是确保其平坦性。工件W的端部与突起114接触的状态下与它一起行进，从而被搬运。
[0047]如图6(b)所示，与利用辊子进行搬运的情况进行对比，则本实施方式的优点更加明显。在利用辊子1a进行的搬运中，辊子1a不是与工件W —起行进，而是工件W的前端部Wa从辊子1a向前方伸出，随之前端部Wa因自重而逐渐向下方下垂。于是，前端部Wa有可能与相邻的辊子1a冲撞。与此不同，从图6(a)可知，突起114与工件W—起行进，因此即使其搬运方向前端向下方下垂，也不会与突起114冲撞。另