外，工件W的端部由并排成一列的多个突起114支撑，并与它一起进行动作，因此如由柱支撑的天花板那样保持平坦的形状。
[0048]参照图7，工件W的宽度方向两端被平坦地支撑，并设为一定的高度，另外工件W的中央附近因自重而能够向下方稍微挠曲。即，工件W能够成为凹字的形状。或者，也可以设置使工件W的中央附近挠曲的变形机构。
[0049]作为这种变形机构之一，是产生特定的浮起高度H的气体供给装置。在气体供给装置所供给的加压气体中，通过适当地调整加压力，能够使浮起部116上的浮起高度H低于突起114上的工件W的高度。或者，也可以仅沿宽度方向并排的多个浮起部116之中靠中央的浮起部116减小浮起力。或者，也可以在气体供给装置或浮起部116设置适当的压损机构或流量调整机构，在中央附近减小浮起力。利用该变形机构，如图7所示，能够使工件W采取凹字的形状。或者，也可以通过加强由浮起部116产生的浮起力，使工件W采取凸字的形状。
[0050]作为另一个变形机构，构成为突起114使工件W挠曲。工件W在浮起部116上具有由工件W的重量与浮起部116所产生的浮起力之间的关系来决定的固有的浮起高度H。将突起114以使工件W挠曲的方式支撑工件W的高度设为L2，则如果突起114形成为具有比该高度更高的高度LI，如图7所示，能够使工件W采取凹字的形状。
[0051]作为又一个变形机构，突起114的各前端具有向搬运部112下降的倾斜。通过突起114倾斜，促使工件W的中央附近向下方挠曲。
[0052]上述的实施方式可以具有各种变更。以下尤其针对搬运部及吸引部，说明几个变更的实施方式。
[0053]图8 (a)表示变更的一个实施方式，搬运部312与吸引部322单独设置。吸引部322与搬运部312邻接并平行地延伸，搬运部312与上述说明的实施方式同样地具备多个突起314。吸引部322具备与搬运部312平行地并排的多个突起322a，经由其开口而吸引气体。优选突起314形成为比吸引部322的突起322a稍高，吸引部322能够与不经由减压室而直接吸引气体G’的机构连接。
[0054]或者，代替突起322a，也可以采用与搬运部312平行地延伸的切口或其他方式。
[0055]或者，吸引部也可以具备包围带的罩，并将罩内设为负压。这也是吸引部和搬运部并排配置在同一直线上的一种方式。搬运部的整体成为负压，工件W的端部不会偏向一侧被吸引，有利于确保其平坦性。
[0056]另外，如图8(b)所示，也可以连结与吸引部322连通的流道330b和与浮起部116连通的流道330a，从而使气体G进行循环。这些部件构成循环部。对于泵或压缩机之类的机构330而言，通过平衡流入与流出，能量转换效率提高，因此有利于节能。另外在此情况下，单个的机构330兼作吸引气体的机构和对气体加压的机构。
[0057]或者如图9所示，搬运部也可以是辊式输送机。沿方向X配置多个辊子414，并分别可旋转地支撑在框402上。与多个辊子414同一直线上，优选交替地配置多个吸引部412a。辊子414的各轴与带轮410b结合，如电动马达之类的驱动装置410也与带轮410b结合。通过这些带轮410b利用带410e相互连结，所有的辊子414同步旋转。驱动装置410的轴410c优选延长至相反侧的端部，使相反侧的端部的带轮410b旋转。从而两端的辊子414同步旋转。或者，也可以不使用带而使用轴及齿轮机构构成驱动装置。吸引部412a与上述实施方式同样地，分别与如泵或压缩机之类的吸引机构连通，吸引工件W的端部。
[0058]根据这种方式，也能够平坦地支撑工件W的宽度方向两端，另外使工件W的中央附近稍微挠曲。
[0059]参照图10，说明上述各实施方式起到的效果。参照图10(a)，如现有技术那样，想要平坦地保持工件W的整体形状，则在工件W的前端未被支撑时，前端因自重而如箭头H那样向下方挠曲。例如，工件W从一个辊子向下一个辊子移动时，或者从一个搬运装置向下一个搬运装置移动时，有可能成为这种状态。工件W通过向下方烧曲而容易与棍子或搬运装置碰撞。另一方面，根据本实施方式，如图10(b)所示，工件W的宽度方向两端沿搬运方向X平坦，中央附近稍微挠曲。于是，工件W沿宽度方向起伏，因此在搬运方向X上工件W不能自由变形，从而工件W的前端即使未被支撑，也不会向下方烧曲。即使在工件W从一个棍子向下一个辊子移动时，或者从一个搬运装置向另一个搬运装置移动时，也能够防止工件W的前端与辊子或搬运装置碰撞。
[0060]对上述各实施方式起到的效果进行验证。
[0061]图11是用于说明验证装置500、502的结构的说明图。尤其是，图11(a)表示验证装置500的俯视图，图11 (b)表示图11 (a)的D向视的侧视图，图11 (c)表示验证装置502中的与图11(b)相对应的位置的侧视图。在此，作为工件W使用了 1300mmX 100mmX0.3mm的铝板。
[0062]如图11 (a)、(b)所示，验证装置500包括浮起部504和突起部506而成。浮起部504与浮起部116同样，例如由喷出压缩空气的喷出装置等构成，并且在工件W的下方产生比将工件W保持水平的压力低的压力。因此，工件W在被突起部506支撑的同时，中央部分Wb向铅垂下方凹陷。
[0063]另外，如图11(c)所示，验证装置502包括浮起部504和突起部508而成。突起部508的高度低于突起部506，浮起部504不具有产生压力的功能。而且，工件W由突起部508及浮起部504支撑为平坦的状态。
[0064]在验证装置500、502任一个中，工件W在图11(a)中下方的端部Wa与突起部506、508相比，突出长度L2而被保持。在此，将长度L2设为200mm。
[0065]图12是表示验证结果的曲线图。尤其是，图12(a)表示图11(a)的D向视中的工件W的端部Wa的形状，图12 (b)表示施加初始振动时的工件W的衰减特性。在图12 (a)中，横轴表示在工件W的端部Wa中从突起部506、508突出的位置，纵轴表示用端部Wa的横轴表示的突出位置上的高度。另外，在图12(b)中，横轴表示时间(秒)，纵轴表示端部Wa的某一测定点的高度。
[0066]在此，实线510表示通过验证装置500而使工件W的中央部分Wb向铅垂下方凹陷而被保持时的测定结果，虚线512表示通过验证装置502使工件W处于平坦的状态时的测定结果。
[0067]如图12 (a)所示，在工件W被保持平坦的状态下，端部Wa较大地下垂。对此，在工件W的中央部分Wb向铅垂下方凹陷的状态下，端部Wa的下垂的宽度减小至工件W处于平坦状态时的1/3左右。
[0068]接着，对从施加初始振动而成为最大振幅到振动收敛为止所需的时间进行比较。如图12 (b)所示，与工件W被保持平坦的状态下的时间tl相比，工件W的中央部分Wb向铅垂下方凹陷的状态下的时间t2被缩短至一半以下。
[0069]如上所述，在验证装置502中，工件W与浮起部504接触，而工件W与浮起部504的接触对这种工件W的振动的收敛速度几乎不造成影响，这已经通过另外的验证实验进行了确认。
[0070]通过该验证可知，根据本发明的任一种实施方式的搬运装置，如果在工件W的中央部分Wb向铅垂下方凹陷的状态下，搬运工件W，则能够抑制工件W的端部Wa的下垂，抑制工件W的振动，能执行稳定的搬运。
[0071]通过适当的实施方式说明了本发明，但本发明不限于上述实施方式。基于上述公开内容，具有本技术领域的普通技术的人员能够通过实施方式的修改或变形来实施本发明。
[0072]产业上的可利用性
[0073]提供一种能够防止基板的前端挠曲的搬运装置。
[0074]附图标记说明
[0075]100 搬运装置
[0076]112,312 搬运部
[0077]112a,322,412a 吸引部
[0078]114,314 突起
[0079]116 浮起部
[0080]118 支撑台
[0081]120 减压室
[0082]414 辊子
[0083]X 搬运方向
[0084]W 工件 0.■ I A ^ΓΛ V ΓΛ「?-ν λ Π
【主权项】
1.一种搬运装置，用于通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运，其特征在于，具备: 浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起； 搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，并且构成为与上述对象物接触并向上述第一方向进行驱动；以及 吸引部，与上述搬运部邻接并平行地延伸、或者与上述搬运部在同一直线上并排地配置，并且对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触。
2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于， 上述吸引部和上述多个突起沿上述第一方向交替配置。
3.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于， 上述浮起部或上述搬运部包括变形机构，该变形机构构成为使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。
4.根据权利要求3所述的搬运装置，其特征在于， 上述变形机构是构成为使上述浮起部产生比上述多个突起上的上述对象物的高度低的浮起高度的气体供给装置，或者上述变形机构是形成为比上述浮起部上的上述对象物的浮起高度高的上述多个突起。
5.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于， 还具备循环部，该循环部构成为使上述吸引部吸引的上述气体在上述浮起部循环。
6.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于， 上述多个突起的各前端具有向上述浮起部下降的倾斜。
【专利摘要】通过防止基板前端的挠曲，从而防止基板与搬运装置碰撞。通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备：浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，向上述第一方向驱动上述对象物；吸引部，对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触；以及变形机构，包含于上述浮起部或上述搬运部，使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。
【IPC分类】H01L21-677, B65G15-42, B65G51-03, B65G49-06
【公开号】CN104822613
【申请号】CN201380063583
【发明人】王鹏, 松尾研吾, 和田芳幸
【申请人】株式会社Ihi
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2013年2月26日
【公告号】US20150239682, WO2014132339A1