搬运装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及搬运装置。
【背景技术】
[0002]专利文献1中公开有一种浮起单元，该浮起单元具备:腔室，其具备抽吸气体的负压室；槽部，其形成于腔室的顶壁，且具有沿着腔室长度方向延伸的竖槽以及与竖槽交叉的横槽；气体供给路，其贯穿槽部的槽底；吸气孔，其以贯穿顶壁而与负压室连通的方式配设；以及多孔板，其固定于顶壁，且具有与吸气孔连通的抽吸孔，并且喷出从气体供给路经由槽部而进入的气体，其中，横槽的末端未与其他槽相连。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献1:日本特开2010-260715号公报
[0005]发明要解决的课题
[0006]在专利文献1所记载的发明中，在多孔板的端部处未形成槽而仅设置有吸气孔。因此，在专利文献1所记载的发明中，多孔板的外周区域的正压比多孔板的中央区域低，即工件(板状体)从多孔板的浮起高度变低。这种现象在工件的厚度与通常的情况(例如大致0.7mm左右)相比较薄时(例如大致0.2?0.5mm左右)尤为显著。
[0007]通常，由于组装误差而使多孔板在高度方向上产生安装误差。因此，如专利文献1所记载的发明那样，在多孔板的外周区域中的工件的浮起高度与多孔板的中央区域相比变低的情况下，由于邻接的多孔板的高度存在偏差而可能使工件与多孔板抵接。
【实用新型内容】
[0008]本实用新型正是鉴于这种情况而完成的，其目的在于，提供即便支承构件的高度存在偏差、也能够稳定地搬运较薄的板状体的搬运装置。
[0009]解决方案
[0010]为了解决上述技术问题，本实用新型所涉及的搬运装置的特征在于，例如具备:矩形形状的板状的支承构件；以及搬运部，其使板状体从所述支承构件的上表面浮起并沿着搬运方向搬运所述板状体，且该搬运部具有:设置于所述支承构件的多个吹出构造；经由所述吹出构造而从所述支承构件的下表面朝向上表面吹出空气的吹出部；设置于所述支承构件的多个抽吸孔；以及经由所述抽吸孔而将所述支承构件的上表面的空气朝向所述支承构件的下表面抽吸的抽吸部，在第一区域或者第二区域中向所述支承构件的方向抽吸所述板状体的力，与在第三区域中向所述支承构件的方向抽吸所述板状体的力不同，其中，所述第一区域是所述支承构件的与所述搬运方向正交的边即第一边的附近的区域，所述第二区域是与所述第一边平行的第二边的附近的区域，所述第三区域是所述支承构件的所述第一区域以及所述第二区域以外的区域。
[0011]根据本实用新型所涉及的搬运装置，在使板状体从矩形形状的板状的支承构件的上表面浮起并沿着搬运方向搬运板状体时，在第一区域或者第二区域中向所述支承构件的方向抽吸板状体的力，与在第三区域中向支承构件的方向抽吸板状体的力不同，其中，所述第一区域是支承构件的与搬运方向正交的边即第一边的附近的区域，所述第二区域是与第一边平行的第二边的附近的区域，所述第三区域是支承构件的第一区域以及第二区域以外的区域。由此，即便支承构件的高度存在偏差，也能够稳定地搬运较薄的板状体。
[0012]在此，也可以为，所述抽吸孔具有:形成于所述第一区域的第一抽吸孔；形成于所述第二区域的第二抽吸孔；以及形成于所述第三区域的第三抽吸孔，所述抽吸部具有??经由所述第一抽吸孔而抽吸空气的第一抽吸部；经由所述第二抽吸孔而抽吸空气的第二抽吸部；以及经由所述第三抽吸孔而抽吸空气的第三抽吸部，所述第一抽吸部抽吸空气的抽吸力或者所述第二抽吸部抽吸空气的抽吸力与所述第三抽吸部抽吸空气的抽吸力不同。由此，即便在抽吸孔的数量、配置位置等与以往相同的情况下，也能够稳定地搬运较薄的板状体。
[0013]在此，也可以为，所述吹出构造具有:形成于所述第一区域的第一吹出构造；形成于所述第二区域的第二吹出构造；以及形成于所述第三区域的第三吹出构造，所述抽吸孔具有:形成于所述第一区域的第一抽吸孔；形成于所述第二区域的第二抽吸孔；以及形成于所述第三区域的第三抽吸孔，所述第一抽吸孔的数量相对于所述第一吹出构造的数量之比或所述第二抽吸孔的数量相对于所述第二吹出构造的数量之比，与所述第三抽吸孔的数量相对于所述第三吹出构造的数量之比不同，或者，所述第一抽吸孔的面积相对于所述第一吹出构造的面积之比或所述第二抽吸孔的面积相对于所述第二吹出构造的面积之比，与所述第三抽吸孔的面积相对于所述第三吹出构造的面积之比不同。由此，不使控制系统与现有的构造不同就能够稳定地搬运较薄的板状体。
[0014]在此，也可以为，所述抽吸孔或所述吹出构造设置在与所述支承构件的同所述搬运方向正交的边平行的线上，在所述平行的线中的、最靠近所述支承构件的和所述搬运方向正交的边的线上，设置有所述抽吸孔和所述吹出构造这两者。由此，在板状体通过支承构件与支承构件之间时，能够防止板状体的前端浮起或落下。
[0015]实用新型效果
[0016]根据本实用新型，即便支承构件的高度存在偏差，也能够稳定地搬运较薄的板状体。
【附图说明】
[0017]图1是表示第一实施方式所涉及的曝光装置1的概要结构的主视图。
[0018]图2是板状体搬运机构10的俯视图(从上方(+z方向)观察到的图)。
[0019]图3是图2的A-A剖视图。
[0020]图4是详细表示支承构件11以及搬运部12的示意图。
[0021]图5是表示支承构件11中的正压槽13以及负压孔15的配置的示意图。
[0022]图6是用于说明支承构件11中的区域llf、llg、llh的位置的示意图。
[0023]图7是用于说明上表面11a的高度方向产生了偏差时的板状体W的行为的图，且示出移动目的地的支承构件11 β的上表面11a比移动源的支承构件11α的上表面11a高的情况。
[0024]图8是用于说明上表面11a的高度方向产生了偏差时的板状体W的行为的图，且示出移动目的地的支承构件11 β的上表面11a比移动源的支承构件11α的上表面11a低的情况。
[0025]图9是变形例所涉及的支承构件11A的示意图。
[0026]图10是详细表示第二实施方式所涉及的曝光装置2的支承构件11B以及搬运部12A的示意图。
[0027]图11是表示支承构件11B中的正压槽13以及负压孔15A的配置的示意图。
[0028]图12是变形例所涉及的支承构件11C的示意图。
[0029]图13是变形例所涉及的支承构件11D的示意图。
[0030]附图标号说明如下:
[0031]1、2:曝光装置
[0032]10:板状体搬运机构
[0033]11、11A、11B、11C:支承构件
[0034]12、12A:搬运部
[0035]13、13A:正压槽
[0036]14:吹出部
[0037]14a:供给管
[0038]15、15A、15B:负压孔
[0039]16、16A:抽吸部
[0040]16a、16b、16c、16d:排气管
[0041]17a、17b、17c、17d:阀
[0042]18a、18b、18c、18d:压力传感器
[0043]19:压力调整单元
[0044]19a:存储器
[0045]19b:运算部
[0046]19c:驱动部
[0047]20:曝光部
[0048]21:光源
[0049]22:反射镜
[0050]30:掩膜保持部
[0051]31:掩膜保持构件
[0052]32:掩膜驱动部
[0053]33:x方向驱动部
[0054]34:y方向驱动部
[0055]35: Θ方向驱动部
[0056]36:z方向驱动部
【具体实施方式】
[0057]以下，参照附图，对本实用新型的实施方式详细进行说明。
[0058]<第一实施方式>
[0059]图1是表示第一实施方式所涉及的曝光装置1的概要结构的主视图。曝光装置1对涂敷了感光性物质的板状体(例如，基板)经由光掩膜而照射曝光光束，从而形成规定的曝光图案。
[0060]曝光装置1主要具备板状体搬运机构10、曝光部20以及掩膜保持部30。
[0061]板状体搬运机构10使玻璃的板状体W(例如，玻璃基板)浮起恒定量(例如作为设计值的H1)并对该玻璃的板状体W保持，并且沿规定方向(例如，X方向)搬运玻璃的板状体W。板状体搬运机构10主要具备支承构件11、和使板状体从