技术编号:8545229
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。薄膜场效应晶体管(Thin Film Transistor,TFT)显示器件的制作过程相对比较复杂,需要经过很多个工序才能制作完成,其中又有很多高温工序,比如金属成膜,非金属成膜,干刻等工序,这些工序必须在高温环境下作业,静电放电(Electro-Staticdischarge,ESD)产生的几率相对较高,如果产品的设计对ESD的防护不好,TFT显示器件将很容易被ESD击伤。目前对TFT显示器件ESD防护的措施非常多,也有相对有效的方法。一般ESD容易发生...
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