一种剥离装置的制造方法技术资料下载

技术编号:8573544

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石墨烯是碳原子按六角结构紧密堆积成的单原子层二维晶体,载流子的本征迀移率可达到2X105cm/(V.S),这种优异的电学性质使其在高频电子器件中有着巨大的应用价值。为了制备石墨烯电子器件,首要的问题是制备出大尺寸、具有优异电学性能的石墨烯薄膜,并转移至合适的目标基底上。目前大尺寸石墨烯薄膜的制备方法主要有包括以下几种(1)碳化硅(SiC)外延生长法,虽可获得高质量大面积的单层石墨烯,但是所使用的SiC的价格昂贵,生长条件苛刻,且生产出的石墨烯难于转移;(2...
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