一种剥离装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于剥离卷装石墨烯薄膜金属衬底的剥离装置。
【背景技术】
[0002]石墨烯是碳原子按六角结构紧密堆积成的单原子层二维晶体，载流子的本征迀移率可达到2X105cm/(V.S)，这种优异的电学性质使其在高频电子器件中有着巨大的应用价值。为了制备石墨烯电子器件，首要的问题是制备出大尺寸、具有优异电学性能的石墨烯薄膜，并转移至合适的目标基底上。目前大尺寸石墨烯薄膜的制备方法主要有包括以下几种:(1)碳化硅(SiC)外延生长法，虽可获得高质量大面积的单层石墨烯，但是所使用的SiC的价格昂贵，生长条件苛刻，且生产出的石墨烯难于转移；(2)化学气相沉积法(ChemicalVapor Deposit1n，CVD)可以在金属衬底上生长大面积的单层或多层石墨稀薄膜，所得石墨烯质量好、易于转移，是目前制备石墨烯薄膜的常用方法，被广泛用于制备石墨烯晶体管和透明导电薄膜。
[0003]CVD法制备的石墨烯需要经过转移才能从金属衬底到目标基体。现有石墨烯转移方法大多数使用腐蚀方法去除基底，成本较高、耗时长，基底回收难而且会对环境造成一定的污染。目前没有能够自动化去除卷装石墨烯薄膜金属衬底的装置。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种能够实现自动化剥离卷装石墨烯薄膜金属衬底的
目.ο
[0005]实现本实用新型目的的技术方案是:一种剥离装置，包括样品架、成品架、成品转轴、收卷电机、传送架、剥离机构和电解液槽；样品包括样品轴、卷绕在样品轴上的金属衬底、以及附于金属衬底上的成品，样品轴安装在样品架上，成品的一端固定在成品转轴上，样品轴与成品转轴之间的样品通过传送架支撑；所述剥离机构包括支架、剥离电机和卷轴；所述剥离电机固定在支架上，并驱动卷轴转动；所述卷轴位于传送架的上方，金属衬底的一端固定在卷轴上；所述成品转轴安装在成品架上；所述收卷电机驱动成品转轴转动；所述电解液槽内设有电解液；所述传送架设置在电解液槽内的电解液中。
[0006]所述卷轴上设有能够与金属衬底相配合的缝隙，金属衬底的一端固定在卷轴的缝隙内。
[0007]所述剥离机构的卷轴与剥离电机可拆卸地固定连接。
[0008]所述剥离机构的卷轴的缝隙贯穿卷轴远离剥离电机的一端的端面。
[0009]所述传送架包括两块侧板，以及设置在两块侧板之间的上下两层传送辊；所述传送辊与两块侧板转动连接；所述样品从上下两层传送辊之间通过。
[0010]所述剥离机构还包括升降电机、丝杆和升降平台；所述升降电机固定在支架上，并驱动丝杆转动；所述升降平台与丝杆螺纹连接，并与支架上下滑动连接；所述剥离电机固定在升降平台上。
[0011]采用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果:(1)本实用新型通过收卷电机和剥离电机分别驱动成品转轴和卷轴转动，从而将金属衬底从成品上剥离下来，实现了自动化剥离卷装石墨烯薄膜金属衬底，结构简单、成本低、效率高、污染小，适用于工业化去除石墨稀薄膜金属衬底。
[0012](2)本实用新型的卷轴上设有能够与金属衬底相配合的缝隙，便于固定金属衬底，从而保证金属衬底能够顺利剥离。
[0013](3)本实用新型的剥离机构的卷轴与剥离电机可拆卸地固定连接，剥离完成后方便拆除卷轴，以便取下剥离下来的金属衬底。
[0014](4)本实用新型的剥离机构的卷轴的缝隙贯穿卷轴远离剥离电机的一端的端面，这种结构便于在不拆除卷轴的情况下取下剥离下来的金属衬底。
[0015](5)本实用新型将升降电机固定在可以升降的支架上，剥离前便于将金属衬底安装到卷轴的缝隙中，同时剥离完成后能够更加方便地取出金属衬底。
【附图说明】
[0016]为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
[0017]图1为本实用新型的实施例1的结构示意图，图中未示出样品架、成品架、收卷电机和电解液槽。
[0018]图2为本实用新型的实施例2的结构示意图，图中未示出样品架、成品架、收卷电机和电解液槽。
[0019]图3为本实用新型的实施例3的结构示意图，图中未示出样品架、成品架、收卷电机和电解液槽。
[0020]附图中的标号为:
[0021]成品转轴1、传送架2、剥离机构3、支架31、剥离电机32、卷轴33、缝隙331、丝杆34、升降平台35、样品4、金属衬底41、样品轴42、成品43。
【具体实施方式】
[0022](实施例1)
[0023]见图1，本实施例的剥离装置，包括样品架、成品架、成品转轴1、收卷电机、传送架2、剥离机构3和电解液槽。
[0024]传送架2设置在电解液槽内的电解液中。传送架2包括两块侧板21，以及设置在两块侧板21之间的上下两层传送辊22。传送辊22与两块侧板21转动连接。样品4从上下两层传送辊22之间通过。
[0025]样品4包括样品轴42、卷绕在样品轴42上的金属衬底41、以及附于金属衬底41上的成品43，样品轴42安装在样品架上，成品43的一端固定在成品转轴I上，样品轴42与成品转轴I之间的样品4通过传送架2支撑。
[0026]剥离机构3包括支架31、剥离电机32和卷轴33。剥离电机32固定在支架31上，并驱动卷轴33转动，卷轴33与剥离电机32可拆卸地固定连接。卷轴33位于传送架2的上方。卷轴33上设有能够与金属衬底41相配合的缝隙331，金属衬底41的一端固定在卷轴33的缝隙331内。成品转轴I安装在成品架上，收卷电机驱动成品转轴I转动。
[0027]本实施例的剥离装置的原理是:收卷电机和剥离电机分别驱动成品转轴I和卷轴33转动，传送架2的下层传送辊22支撑成品43，传送架2的上层传送辊22压住金属衬底41，从而将金属衬底41从成品43上剥尚下来。剥尚完成后，将卷轴33连问金属衬底41 一起拆除，然后再将金属衬底41从卷轴33上取下来。
[0028](实施例2)
[0029]见图2，本实施例与实施例1基本相同，不同之处在于:剥离机构3的卷轴33的缝隙331贯穿卷轴33远离剥离电机32的一端的端面。
[0030]本实施例的剥离装置在剥离完金属衬底41后不需拆除卷轴33，即可方便地将剥离下来的金属衬底41从卷轴33上取下来。
[0031](实施例3)
[0032]见图3，本实施例与实施例2基本相同，不同之处在于:剥离机构3还包括升降电机、丝杆34和升降平台35。
[0033]升降电机固定在支架31上，并驱动丝杆34转动。升降平台35与丝杆34螺纹连接，并与支架31上下滑动连接。剥离电机32固定在升降平台35上。
[0034]本实施例的剥离装置由于将升降电机固定在可以升降的支架31上，因此方便在剥离前将金属衬底41安装到卷轴33的缝隙331中，剥离完成后能够更加方便地取出金属衬底。
[0035]以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种剥离装置，其特征在于:包括样品架、成品架、成品转轴(I)、收卷电机、传送架(2)、剥离机构(3)和电解液槽；样品⑷包括样品轴(42)、卷绕在样品轴(42)上的金属衬底(41)、以及附于金属衬底(41)上的成品(43)，样品轴(42)安装在样品架上，成品(43)的一端固定在成品转轴⑴上，样品轴(42)与成品转轴⑴之间的样品⑷通过传送架(2)支撑；所述剥离机构⑶包括支架(31)、剥离电机(32)和卷轴(33);所述剥离电机(32)固定在支架(31)上，并驱动卷轴(33)转动；所述卷轴(33)位于传送架(2)的上方，金属衬底(41)的一端固定在卷轴(33)上；所述成品转轴(I)安装在成品架上；所述收卷电机驱动成品转轴(I)转动；所述电解液槽内设有电解液；所述传送架(2)设置在电解液槽内的电解液中。
2.根据权利要求1所述的一种剥离装置，其特征在于:所述卷轴(33)上设有能够与金属衬底(41)相配合的缝隙(331)，金属衬底(41)的一端固定在卷轴(33)的缝隙(331)内。
3.根据权利要求2所述的一种剥离装置，其特征在于:所述剥离机构(3)的卷轴(33)与剥离电机(32)可拆卸地固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种剥离装置，其特征在于:所述剥离机构(3)的卷轴(33)的缝隙(331)贯穿卷轴(33)远离剥离电机(32)的一端的端面。
5.根据权利要求1所述的一种剥离装置，其特征在于:所述传送架(2)包括两块侧板(21)，以及设置在两块侧板(21)之间的上下两层传送辊(22);所述传送辊(22)与两块侧板(21)转动连接；所述样品(4)从上下两层传送辊(22)之间通过。
6.根据权利要求1至5之一所述的一种剥离装置，其特征在于:所述剥离机构(3)还包括升降电机、丝杆(34)和升降平台(35);所述升降电机固定在支架(31)上，并驱动丝杆(34)转动；所述升降平台(35)与丝杆(34)螺纹连接，并与支架(31)上下滑动连接；所述剥离电机(32)固定在升降平台(35)上。
【专利摘要】本实用新型公开了一种剥离装置，包括样品架、成品架、成品转轴、收卷电机、传送架、剥离机构和电解液槽；样品包括样品轴、卷绕在样品轴上的金属衬底、以及附于金属衬底上的成品，样品轴安装在样品架上，成品的一端固定在成品转轴上，样品轴与成品转轴之间的样品通过传送架支撑；剥离机构包括支架、剥离电机和卷轴；剥离电机固定在支架上，并驱动卷轴转动；卷轴位于传送架的上方，金属衬底的一端固定在卷轴上；收卷电机驱动安装在成品架上的成品转轴转动；传送架设置在电解液槽内的电解液中。本实用新型实现了自动化剥离卷装石墨烯薄膜金属衬底，结构简单、成本低、效率高、污染小。
【IPC分类】B65H41-00
【公开号】CN204280870
【申请号】CN201420645791
【发明人】周振义, 武文鑫, 刘志成, 王增奎, 徐振飞, 龚健, 娄晓静, 孙洪波, 顾永强
【申请人】常州二维碳素科技有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年10月31日