技术编号:8574603
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。太阳能娃片的生产加工中有一道工序叫做PECVD(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposit1n,等离子增强化学气相沉积)镀膜,其作用是提高娃片的太阳能转化率。在采用PECVD工艺进行硅片镀膜时,通常采用石墨舟作为硅片的载体。把硅片放到石墨舟中,经过一定的条件产生化学反应,在硅片表面镀上一层膜。石墨舟作为太阳能电池板镀膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生广效率。图1a为现有石墨舟的立体结构不意图,图1b为图1...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。