一种石墨舟的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅太阳能电池板制造领域，特别是涉及一种石墨舟。
【背景技术】
[0002]太阳能娃片的生产加工中有一道工序叫做PECVD(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposit1n，等离子增强化学气相沉积)镀膜，其作用是提高娃片的太阳能转化率。在采用PECVD工艺进行硅片镀膜时，通常采用石墨舟作为硅片的载体。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反应，在硅片表面镀上一层膜。
[0003]石墨舟作为太阳能电池板镀膜时的一种载体，其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生广效率。图1a为现有石墨舟的立体结构不意图，图1b为图1a的左视图，如图1a和图1b所示，现有的石墨舟由石墨板10、陶瓷棒11、陶瓷环12、石墨螺母13、石墨块14和支脚15等组成。石墨板10为多片排列，各石墨板上皆有相对应的多个通孔，各石墨板通过贯穿在通孔内的陶瓷棒11固定连接，相邻两片石墨板10之间的陶瓷棒11上套装有陶瓷环12将其隔离开，所述陶瓷环12长度相同，使得各石墨板之间等间距排列；每个陶瓷棒的两端通过石墨螺母13固定在最外侧的两片石墨板上；相间隔的石墨板10分别于石墨舟长度方向两端设置的石墨块14相连接；石墨舟长度方向两端的底部分别设置有支脚15。
[0004]由于现有的石墨舟的石墨片均为等间距设计，即所有各排石墨片之间的间距均相等，采用等长度的陶瓷环隔开，但由于镀膜的时候，分布到石墨舟不同位置处的镀膜气体是不均匀的，等间距的间隔使得每个间隔之内的镀膜气体分布存在差异，这就使得石墨板上硅片镀膜厚度不均匀，镀膜气体分布较多的区域，其对应的硅片镀膜较厚，颜色偏白，而镀膜气体分布较少的区域，其对应的硅片镀膜较薄，颜色偏深，容易导致整管硅片的膜厚不均匀，影响颜色分布，容易产生较多的不良品。
[0005]鉴于此，有必要设计一种新的结构以解决上述技术问题。
【实用新型内容】
[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种石墨舟，用于解决现有技术中由于石墨舟的石墨片为等间距设计，而在镀膜的时候，分布到石墨舟不同位置处的镀膜气体是不均匀的，使得每个等间距之间隔内的镀膜气体分布存在差异，而导致的石墨板上硅片镀膜厚度不均匀，镀膜气体分布较多的区域，其对应的硅片镀膜较厚，颜色偏白，而镀膜气体分布较少的区域，其对应的硅片镀膜较薄，颜色偏深，容易导致整管硅片的膜厚不均匀，影响颜色分布，容易产生较多的不良品的问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种石墨舟，所述石墨舟至少包含若干个非等间距排列的石墨板；若干个用于隔离所述相邻石墨板的陶瓷环；若干个用于串接所述石墨板与相应陶瓷环的陶瓷棒。
[0008]作为本实用新型的石墨舟的一种优选方案，所述石墨舟包含至少一由相邻石墨板构成的第一石墨板间距、至少一由相邻石墨板构成的第三石墨板间距以及至少一由其他相邻石墨板构成的第二石墨板间距；所述第一石墨板间距、第二石墨板间距以及第三石墨板间距至少两者不相等。
[0009]作为本实用新型的石墨舟的一种优选方案，所述第一石墨板间距、第二石墨板间距和第三石墨板间距三者之间互不相等。
[0010]作为本实用新型的石墨舟的一种优选方案，所述第一石墨板间距小于所述第二石墨板间距，所述第二石墨板间距小于所述第三石墨板间距。
[0011]作为本实用新型的石墨舟的一种优选方案，所述石墨舟至少包含:若干个设置于石墨舟长度方向两端、用于连结奇数列石墨板的第一石墨块，若干个设置于石墨舟长度方向两端、用于连结偶数列石墨板的第二石墨块；若干个用于串接前述石墨板与相应石墨块的陶瓷棒。
[0012]作为本实用新型的石墨舟的一种优选方案，所述第一石墨板间距位于石墨舟外侦牝所述第三石墨板间距位于石墨舟中部，所述第二石墨板间距位于第一石墨板间距和第三石墨板间距之间。
[0013]作为本实用新型的石墨舟的一种优选方案，所述第一石墨板间距位于石墨舟中部，所述第三石墨板间距位于石墨舟外侧，所述第二石墨板间距位于第一石墨板间距和第三石墨板间距之间。
[0014]作为本实用新型的石墨舟的一种优选方案，自石墨舟两侧至中部，所述相邻石墨板之间构成的石墨板间距逐渐增大。
[0015]作为本实用新型的石墨舟的一种优选方案，自石墨舟两侧至中部，所述相邻石墨板之间构成的石墨板间距逐渐减小。
[0016]如上所述，本实用新型的石墨舟，具有以下有益效果:所述石墨舟的石墨片为非等间距设计，可以根据实际情况调节相应位置的石墨板间距，使得每个间隔之内的镀膜气体分布尽量均匀，保证镀膜工艺过程中镀膜的膜厚比较均匀，避免了不良品的出现；所述石墨舟的整体宽度不发生变化，不影响生产时进出舟，无需重新调整配方；根据实际情况调整相应位置的石墨板间距时，变更的组装材料参数仅为一部分陶瓷环的长度、一部分石墨块的宽度及一部分陶瓷棒的长度，石墨板及后续整个石墨舟的组装方法不变，整个改造调整过程操作方便，简单易行。
【附图说明】
[0017]图1a显不为现有石墨舟的立体结构不意图。
[0018]图1b显示为图1a的左视图。
[0019]图2a显示为本实用新型的石墨舟的一端侧视图。
[0020]图2b?2c显示为本实用新型另一实施例中的石墨舟的一端侧视图。
[0021]图2d?2e显示为本实用新型另一实施例中的石墨舟的一端侧视图。
[0022]元件标号说明
[0023]10、20石墨板
[0024]11,24陶瓷棒
[0025]12、23陶瓷环
[0026]13、25石墨螺母
[0027]14石墨块
[0028]15、26支脚
[0029]21第一石墨块
[0030]22第二石墨块
[0031]Cl1第一石墨板间距
[0032]d2第二石墨板间距
[0033]d3第三石墨板间距
[0034]Ill第一石墨块的宽度
[0035]h2第二石墨块的宽度
[0036]h3石墨板的宽度
[0037]L陶瓷环的长度
【具体实施方式】
[0038]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0039]请参阅图2a至图2e。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0040]实施例1
[0041]请参阅图2a，图2a为本实用新型的石墨舟的一端侧视图。本实用新型提供一种石墨舟，所述石墨舟至少包括:若干个非等间距排列的石墨板20 ;若干个用于隔离所述相邻石墨板20的陶瓷环23 ;若干个用于串接所述石墨板20与相应陶瓷环23的陶瓷棒24。
[0042]具体的，所述所述石墨舟包含至少一由相邻石墨板构成的第一石墨板间距Cl1、至少一由相邻石墨板构成的第三石墨板间距(13以及至少一由其他相邻石墨板构成的第二石墨板间距d2;所述第一石墨板间距d 1、第二石墨板间距d2以及第三石墨板间距d 3至少两者不相等。如图2a所示，优选地，本实施例中，第一石墨板间距Cl1与第二石墨板间距d 2相等，且小于第三石墨板间距d3。
[0043]需要说明的是，所述第一石墨板间距Cl1、第二石墨板间距d2以及第三石墨板间距d3的分布包含但不仅限于图2a所示的情况，所述第一石墨板间距Cl1、第二石墨板间距(12以及第三石墨板间距d3的位置可以根据实际工