技术编号:8596458
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前国内所有太阳能电池制造厂家的PECVDsinaxl所用的铜天线都是由外置铜天线直插入内置铜天线中构成的,具体如图1所示,外置铜天线2 —端设有把手I,另一端为接触末端3,接触末端3相对于外置铜天线2直径较小,内置铜天线4两端内部中空形成插孔,外置铜天线2的插入端3插入内置铜天线4的插孔中,实现内、外置铜天线的连接,以将磁头上的微波通过外置铜天线2传入内置铜天线4,以便对刻蚀清洗后的硅太阳能电池片进行镀膜。此种铜天线的弊端是1)内置铜天线与外置铜天线融合...
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