一种铜天线的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅太阳能电池制造工段PECVDsinaxl的附属备件，具体涉及一种用来传输微波的铜天线，从而产生等离子体实现氮化硅薄膜沉积。
【背景技术】
[0002]目前国内所有太阳能电池制造厂家的PECVDsinaxl所用的铜天线都是由外置铜天线直插入内置铜天线中构成的，具体如图1所示，外置铜天线2 —端设有把手I，另一端为接触末端3，接触末端3相对于外置铜天线2直径较小，内置铜天线4两端内部中空形成插孔，外置铜天线2的插入端3插入内置铜天线4的插孔中，实现内、外置铜天线的连接，以将磁头上的微波通过外置铜天线2传入内置铜天线4，以便对刻蚀清洗后的硅太阳能电池片进行镀膜。
[0003]此种铜天线的弊端是:1)内置铜天线与外置铜天线融合的程度无法保证，如果融合度太小或者根本没有嵌入内置铜天线内，容易造成微波输送异常，致使硅太阳能电池片镀膜失败；2)内置铜天线和外置铜天线在相互紧固时很难用力均等，易造成外置铜天线与磁头(外置铜天线穿过磁头后再插入内置铜天线)的接触的力不均匀，致使磁头反射功率高，降低磁头使用寿命，甚至直接烧坏磁头等其他备件。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的发明目的是提供一种内、外置铜天线结合紧密的铜天线，以防止现有技术中因内、外置铜天线接触不良而导致的微波传输异常和烧坏磁头等现象的出现。
[0005]本实用新型的发明目的通过如下技术方案实现:一种铜天线，包括外置铜天线和内置铜天线，所述外置铜天线一端设有把手，另一端为接触末端与所述内置铜天线的一端对接，其特征在于，所述外置铜天线的接触末端上设有外螺纹，所述内置铜天线的两端上设有用于容纳所述外置铜天线接触末端的螺孔。
[0006]本实用新型的内、外置铜天线采用螺纹紧固的方式，可以使内、外置铜天线融合紧密且紧固力均衡，避免因微波传输异常而造成硅太阳能电池片镀膜不良和因外置铜天线与磁头接触力不均匀而引起的烧坏磁头等备件的问题的发生。
【附图说明】
[0007]图1为现有技术中铜天线的内置铜天线和外置铜天线的连接示意图；
[0008]图2为本实用新型铜天线的内置铜天线和外置铜天线的连接示意图。
【具体实施方式】
[0009]如图2所示，本实用新型的铜天线包括外置铜天线2和内置铜天线4。外置铜天线2 —端设有把手1，另一端为接触末端3，接触末端3上设有外螺纹5。内置铜天线4的两端上设有用于容纳外置铜天线2接触末端3的螺孔，以便使内、外置铜天线通过螺纹紧密连接。
[0010]当PECVDsinaxl换管作业时,第一步先把内置铜天线4安装在石英管内(同如现有技术)，然后将组装好的石英管安装到PECVDsinaxl仓体内，然后使外置铜天线2的接触末端3穿过磁头(未画出)，插入内置铜天线4的螺孔中并旋紧紧固。本实用新型的内、外置铜天线采用螺纹紧固的方式，可以使内、外置铜天线融合紧密且紧固力均衡，避免因微波传输异常而造成硅太阳能电池片镀膜不良和因外置铜天线与磁头接触力不均匀而引起的烧坏磁头等备件的问题的发生。另外，本实用新型可通过观察外置铜天线上接触末端外螺纹进入螺孔内的情况，方便的判断内、外置铜天线是否充分融合。
[0011]本实用新型的铜天线已在K+P车间使用I年多，从没有出现内置铜天线滑落的现象，且镀膜失败率比原铜天线降低了 0.08%。
【主权项】
1.一种铜天线，包括外置铜天线和内置铜天线，所述外置铜天线一端设有把手，另一端为接触末端与所述内置铜天线的一端对接，其特征在于，所述外置铜天线的接触末端上设有外螺纹，所述内置铜天线的两端上设有用于容纳所述外置铜天线接触末端的螺孔。
【专利摘要】一种铜天线，包括外置铜天线和内置铜天线，所述外置铜天线一端设有把手，另一端为接触末端与所述内置铜天线的一端对接，所述外置铜天线的接触末端上设有外螺纹，所述内置铜天线的两端上设有用于容纳所述外置铜天线接触末端的螺孔。本实用新型的内、外置铜天线采用螺纹紧固的方式，可以使内、外置铜天线融合紧密且紧固力均衡，避免因微波传输异常而造成硅太阳能电池片镀膜不良和因外置铜天线与磁头接触力不均匀而引起的烧坏磁头等备件的问题的发生。
【IPC分类】H01Q1-22
【公开号】CN204303978
【申请号】CN201420678352
【发明人】蔡耀辉, 魏亚涛, 苏占成
【申请人】晶澳太阳能有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年11月14日