技术编号:86235
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种用于形成复合金属氧化物的复合金属氧化物用原料组合物。 背景技术以PZT为首的复合金属氧化物应用于铁电存储器、压电元件、红外传感器、SAW器件等的各种用途中,其研究开发也正大量地进行。 作为形成复合金属氧化物的方法,代表方法有溶胶-凝胶法、MOD法等的化学溶液法(CSDChemical Solution DepositionMethod)。 在溶胶-凝胶法中,使用通过将金属醇盐等的化合物水解以及缩聚(这也称作“水解·缩合”)而高分子化的前驱体的溶液。该溶胶-凝胶法中,虽然具有通过控制金属醇盐...
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