技术编号:8640402
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。聚集离子束的机台在使用过程中,每次将样品放到样品室都需要放真空和抽真空两个动作,这两个动作需要花费很长时间,操作效率比较低,同时,分子泵的转速每次在0-48000转/分之间来回运动,这样容易造成真空泵的损坏,经济损失非常大(目前一个真空泵的价格约为30万)。实用新型内容鉴于目前聚集离子束的真空系统存在的上述不足,本实用新型提供一种工作效率高、能完全避免分子泵损坏的聚集离子束的真空系统。为达到上述目的,本实用新型采用根据下技术方案一种聚集离子束的真空系统,所...
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