技术编号：8746064
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。硫酸作为一种具有氧化性的强酸，可以去除大部分金属、金属氧化物以及有机物，大量用于集成电路的清洗和蚀刻。随着IC行业的蓬勃发展，工艺技术水平逐步提升，对湿化学品的质量要求更加苛刻，控制粒径多0.2 μπι颗粒，由于浓硫酸粘度大，通过孔径较小的滤芯时速率慢，严重影响生产效率。工业生产中，采用提高硫酸流动压力来提升过滤流速，不仅会损坏过滤设备，同时影响过滤效率。目如，国内尚纯硫酸生广厂商多以工业硫酸为原料，米用精饱法提升硫酸品质；或以发烟硫酸作为原料，用纯水吸收...
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