技术编号:8800145
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。生产氮化硼制品的工艺中需要使用到气相沉积炉,常规的气相沉积炉一般采用旋转的结构使模具在炉体内部进行公转,在加热的条件下进行气相沉积,而由于只能够进行公转,使得模具和产品的受热不够均匀,在气相沉积过程中容易产生残次品,造成氮化硼制品的质量不稳定。所以,需要设计出一种能够将模具进行高效公转和自转的集成旋转模块,确保氮化硼制品的产品质量和稳定性,提高气相沉积炉的生产效率。实用新型内容本实用新型需要解决的技术问题就在于克服现有技术的缺陷,提供一种生产氮化硼制品的气...
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