生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种气相沉积炉，具体涉及一种生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块。
【背景技术】
[0002]生产氮化硼制品的工艺中需要使用到气相沉积炉，常规的气相沉积炉一般采用旋转的结构使模具在炉体内部进行公转，在加热的条件下进行气相沉积，而由于只能够进行公转，使得模具和产品的受热不够均匀，在气相沉积过程中容易产生残次品，造成氮化硼制品的质量不稳定。所以，需要设计出一种能够将模具进行高效公转和自转的集成旋转模块，确保氮化硼制品的产品质量和稳定性，提高气相沉积炉的生产效率。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型需要解决的技术问题就在于克服现有技术的缺陷，提供一种生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块，它能够实现模具的自转和公转同时旋转，能够使氮化硼制品的气相沉积作业更加高效和均匀，提高生产效率，确保产品质量；并且旋转的能耗低、结构简单，工作成本和后期维护成本低，工作稳定高效。
[0004]为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案:
[0005]生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块，包括沉积炉的圆柱体形炉体，炉体的顶壁为吊盘，吊盘上设有排气口，炉体的底板上设有进气口，还包括顶壁下方的阶梯型上行外齿套，顶壁中央设有竖向的旋转轴，旋转轴下部圆周外侧套接于阶梯型上行外齿套的竖向中轴线上，旋转轴下端的圆周外侧通过锁紧螺母与阶梯型上行外齿套的下端固定连接；旋转轴的转动带动阶梯型上行外齿套与旋转轴一起转动；
[0006]旋转轴圆周外侧的阶梯型上行外齿套上设有若干个竖向呈环形并列设置的一级旋转杆，一级旋转杆外侧的阶梯型上行外齿套上设有若干个竖向呈环形并列设置的二级旋转杆，二级旋转杆外侧的阶梯型上行外齿套上设有若干个竖向呈环形并列设置的三级旋转杆；所有一级旋转杆排列呈现的环形、所有二级旋转杆排列呈现的环形、所有三级旋转杆排列呈现的环形的轴线与旋转轴的轴线重合；
[0007]所述一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆的上部均通过轴承与阶梯型上行外齿套转动连接；旋转轴通过驱动机构驱动阶梯型上行外齿套和所有的一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆转动；一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆能过通过轴承与阶梯型上行外齿套发生相对转动，实现旋转杆的自转；
[0008]一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆上端的高度从上至下依次为一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆；
[0009]每个一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆的上端分别设有一级齿轮、二级齿轮和三级齿轮；
[0010]吊盘的下侧面设置有外套件，外套件设置于阶梯型上行外齿套的圆周外侧；外套件下部的内侧设有圆环形的三阶内齿套，外套件中部的内侧面设有圆环形的二阶内齿套，外套件上部的内侧面设有圆环形的一阶内齿套，所述三阶内齿套、二阶内齿套和一阶内齿套分别与三级齿轮、二级齿轮和一级齿轮的远旋转轴的侧面啮合。这样，当转轴驱动阶梯型上行外齿套转动时，所有的旋转杆随着转动体进行公转，同时，三阶内齿套、二阶内齿套和一阶内齿套分别驱动三级齿轮、二级齿轮和一级齿轮转动，使所有的一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆进行自转；这样，在所有的旋转杆发生自转和公转时，带动旋转杆上的模具和待加工产品进行公转和自转，提高气相沉积炉的沉积效果和产品质量。
[0011]优选的，一级旋转杆、二级旋转杆、三级旋转杆的中部和下部设有用于悬挂模具的挂架。
[0012]优选的，旋转轴的上端通过传动皮带与步进电机的输出轴配合。
[0013]进一步的，步进电机通过减速机驱动旋转轴转动。步进电机驱动旋转轴和阶梯型上行外齿套发生公转。
[0014]优选的，外套件与吊盘的下侧面固定连接。
[0015]优选的，阶梯型上行外齿套上均布设置有6个一级旋转杆、12个二级旋转杆和16个三级旋转杆。
[0016]优选的，一级旋转杆、二级旋转杆和三级旋转杆的直径均为10cm。
[0017]优选的，旋转轴的直径为20cm左右或更大，视吊件重量而定。
[0018]优选的，所有一级旋转杆的轴线排列呈现的环形的直径为70cm ;所有二级旋转杆的轴线排列呈现的环形的直径为130cm ;所有三级旋转杆的轴线排列呈现的环形的直径为190cm ;炉体的直径为240cm。
[0019]优选的，炉体的内壁上设有加热模块。加热模块为电加热模块，为气相沉积炉提供高温环境。
[0020]本实用新型的优点和有益效果为:
[0021]本实用新型生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块，能够实现模具的自转和公转同时旋转，能够使氮化硼制品的气相沉积作业更加高效和均匀，提高生产效率，确保产品质量；
[0022]本实用新型生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块，旋转的能耗低、结构简单，工作成本和后期维护成本低，工作稳定高效；
[0023]本实用新型生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块，采用内齿套驱动齿轮和旋转杆转动，实现旋转杆的自转，整套结构只需要旋转轴的驱动，使得驱动机构简单高效，节约能耗，降低设备复杂程度，便于沉积炉的高效运行和后期维护。
【附图说明】
[0024]图1为本实用新型生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块的结构示意图。
[0025]图2为本实用新型阶梯型上行外齿套的结构示意图。
[0026]图3为图1中AA线剖视图。
[0027]图4为图1中B部分局部放大图。
[0028]图中:1、三阶内齿套；2、排气口 ；3、三级旋转杆；4、三级齿轮；5、二阶内齿套；6、吊盘；7、二级旋转杆；8、二级齿轮；9、一阶内齿套；10、一级旋转杆；11、一级齿轮；12、旋转轴；13、外套件；14、锁紧螺母；15、进气口 ；16、加热模块；17、炉体；18、阶梯型上行外齿套。
【具体实施方式】
[0029]实施例1
[0030]如图1至图4所示，本实用新型为生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块，包括沉积炉的圆柱体形炉体17，炉体17的顶壁为吊盘6，吊盘6上设有排气口 2，炉体17的底板上设有进气口 15，还包括顶壁下方的阶梯型上行外齿套18，顶壁中央设有竖向的旋转轴12，旋转轴12下部圆周外侧套接于阶梯型上行外齿套18的竖向中轴线上，旋转轴12下端的圆周外侧通过锁紧螺母14与阶梯型上行外齿套18的下端固定连接；旋转轴12的转动带动阶梯型上行外齿套18与旋转轴12 —起转动；
[0031]旋转轴12圆周外侧的阶梯型上行外齿套18上设有6个竖向呈环形并列设置的一级旋转杆10，一级旋转杆10外侧的阶梯型上行外齿套18上设有12个竖向呈环形并列设置的二级旋转杆7，二级旋转杆7外侧的阶梯型上行外齿套18上设有16个竖向呈环形并列设置的三级旋转杆3 ;所有一级旋转杆10排列呈现的环形、所有二级旋转杆7排列呈现的环形、所有三级旋转杆3排