技术编号：8906725
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现有半导体镀膜设备的传片腔室内为提高产能采用了双层机械手臂传片，在机械手传片的过程中，可能会发生滑片、撞片、碎片等现象，为了能够观察到双层机械手臂的传片状态，一般采用了比较厚的大透明塑料板，此透明盖板的材料成本及加工费用极高，表面易受到刮伤。发明内容本发明以解决上述问题为目的，设计了一种半导体薄膜设备传片腔室的透明盖板结构，实现了对双层机械手臂传片时基板有无及状态的观察，而且降低了成本。该结构是将原大透明盖板变换为多个小的透明盖板分布在传片腔室盖板偏中间的...
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