技术编号:8906808
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)已被广泛应用于显示领域作为开关 组件使用。薄膜晶体管具有连接源极与漏极的沟道层,该沟道层采用非晶硅(a-Si)、低温 多晶娃(Low Temperature Poly-Silicon,LTPS)或金属氧化物制成。而具有轻掺杂漏极 (Lightly Doped Drain, LDD)结构的薄膜晶体管因可在偏压时降低漏极附近空乏层中电 子和电洞的生成速率而进一步降低漏电流而得到广泛使用。然在植入离...
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