技术编号:8912856
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在制造薄膜晶体管液晶显不器(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay,TFT-1XD)的工艺过程中,湿刻工艺的应用十分广泛。随着液晶面板各种制程的不断更新换代,TFT阵列基板的金属线种类也更多,从铝制程到铜制程、银制程,湿刻工艺对产品的性能和良率有着重要的影响。湿刻设备的刻蚀方式主要有两种浸泡模式和喷淋模式;浸泡模式刻蚀图形的过程容易控制,喷淋模式的刻蚀速率较快。喷淋模式中,刻蚀药液通过喷淋组件喷射到待处理物的表...
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