喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制作工艺技术领域，尤其是一种喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备。
【背景技术】
[0002]在制造薄膜晶体管液晶显不器(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，TFT-1XD)的工艺过程中，湿刻工艺的应用十分广泛。随着液晶面板各种制程的不断更新换代，TFT阵列基板的金属线种类也更多，从铝制程到铜制程、银制程，湿刻工艺对产品的性能和良率有着重要的影响。湿刻设备的刻蚀方式主要有两种:浸泡模式和喷淋模式；浸泡模式刻蚀图形的过程容易控制，喷淋模式的刻蚀速率较快。喷淋模式中，刻蚀药液通过喷淋组件喷射到待处理物的表面上，喷射的压力越大，则刻蚀速率也越大。
[0003]图1是现有的一种应用于湿刻设备中的喷淋组件的结构示意图。如图1所示，该喷淋组件I包括一喷淋管Ia以及连接于喷淋管Ia底部的多个喷嘴lb，多个喷嘴Ib呈等间距排列，喷嘴Ib与喷淋管Ia是通过焊接的方式固定连接。刻蚀药液从喷淋管Ia中流入，然后从喷嘴Ib喷射到待处理物的表面上。图2是具有如上所述喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。如图2所示，该湿刻设备包括喷淋单元2，喷淋单元2中包含多个喷淋组件1，其中的多个喷淋管Ia呈相互平行且等间距排列，连接于喷淋管Ia的喷嘴Ib呈阵列分布。待处理物3 (例如沉积有金属薄膜层的玻璃基板)从垂直于或近似垂直于喷淋管Ia长度的方向(X方向)被传送到该喷淋单元2下方，由喷嘴Ib向待处理物3的表面喷射刻蚀药液进行刻蚀。
[0004]在如上结构的湿刻设备中，其中喷嘴Ib与喷淋管Ia是通过焊接的方式固定连接，其所组成的喷淋单元2也是单一和固定，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，只能更换该设备中的所有喷淋组件I (包括喷淋管Ia和喷嘴Ib)，导致生产成本增加。
【发明内容】
[0005]有鉴于此，本发明提供了一种喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，通过调整喷嘴的位置即可提高喷淋的均一性，提高了生产效率，降低了成本。
[0006]为了达到上述目的，本发明采用了如下技术方案:
[0007]一种喷淋组件，包括喷淋管，所述喷淋管的底部开设有多个第一通孔，每一第一通孔中装配有一喷嘴机构，其中，所述喷嘴机构包括一滑块，所述滑块的面积大于所述第一通孔的面积，所述滑块设置于所述喷淋管内并覆盖于所述第一通孔上；所述滑块上连接有一喷嘴，所述喷嘴从所述第一通孔中伸出，所述喷嘴与所述喷淋管流体连通；所述喷嘴机构还包括将所述滑块连接到所述喷淋管的锁紧件，当所述锁紧件锁紧时，所述滑块固定连接到所述喷淋管上；当所述锁紧件松开时，所述滑块可在水平面内移动，以调整所述喷嘴在所述第一通孔中的位置。
[0008]进一步地，所述滑块上朝向所述第一通孔的一侧设置有卡槽，所述第一通孔的边缘设置朝向所述滑块凸起的卡点，所述卡点装配于所述卡槽中。
[0009]进一步地，所述滑块上设置有第二通孔，所述喷嘴可拆卸地连接于所述第二通孔。
[0010]进一步地，所述第二通孔为螺纹孔，所述喷嘴具有与所述螺纹孔适配的第一螺纹部，通过将所述第一螺纹部装配于所述螺纹孔，以使所述喷嘴可拆卸地连接于所述第二通孔中。
[0011]进一步地，所述锁紧件为螺纹锁紧件，所述螺纹锁紧件包括螺栓以及设置于所述滑块上的螺纹通孔或螺纹盲孔，所述螺栓穿过所述第一通孔装配于所述螺纹通孔或螺纹盲孔中，所述螺栓的头部的宽度大于所述第一通孔的宽度。
[0012]进一步地，所述锁紧件为螺纹锁紧件，所述螺纹锁紧件包括一螺栓和一螺帽，所述滑块上设置有第三通孔，所述螺栓依次穿过第三通孔和第一通孔与所述螺帽配合，所述螺帽的宽度大于所述第一通孔的宽度。
[0013]进一步地，所述螺纹锁紧件的数量为至少两个，分别位于所述喷嘴的相对两侧。
[0014]进一步地，所述多个第一通孔等间距地排布于所述喷淋管的底部。
[0015]本发明还提供了一种湿刻设备，包括喷淋单元，其中，所述喷淋单元包括多个如上所述的喷淋组件，多个喷淋组件中的多个喷淋管相互平行地或近于相互平行地排列。
[0016]进一步地，对于所述喷淋单元的多个喷淋组件中，按照喷淋组件的排列方向，第奇数个喷淋组件中的喷嘴位于更接近于第一通孔的第一端，第偶数个喷淋组件中的喷嘴位于更接近于第一通孔的与第一端相对的第二端。
[0017]有益效果:
[0018]本发明实施例提供的喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，通过调整喷嘴的连接位置即可提高喷淋的均一性，提高了生产效率，降低了成本。
【附图说明】
[0019]图1是现有的一种应用于湿刻设备中的喷淋组件的结构示意图。
[0020]图2是具有如图1所示的喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。
[0021]图3是本发明实施例提供的喷淋组件的结构示意图。
[0022]图4是本发明实施例中的喷嘴机构与喷淋管的连接结构示意图。
[0023]图5是如图4所示的连接结构的分解示意图。
[0024]图6是如图4所示的连接结构仰视图。
[0025]图7是另一实施例中的喷嘴机构与喷淋管的连接结构示意图。
[0026]图8是如图7所示的连接结构仰视图。
[0027]图9是具有如图3所示的喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。
[0028]图10是本发明实施例提供的喷淋组件的不同组装方式的示例性图示。
[0029]图11是具有如图10所示的喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。
【具体实施方式】
[0030]下面将结合附图以及具体实施例，对本发明实施例中的技术方案进行详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护范围。
[0031]本实施例首先提供了一种喷淋组件，参阅附图3，该喷淋组件I包括喷淋管10，所述喷淋管10的底部开设有多个第一通孔11，每一第一通孔11中装配有一喷嘴机构12。其中，所述喷嘴机构12包括一滑块121，所述滑块121的面积大于所述第一通孔11的面积，所述滑块121设置于所述喷淋管10内并覆盖于所述第一通孔11上。所述滑块121上连接有一喷嘴122，所述喷嘴122从所述第一通孔11中伸出，所述喷嘴122与所述喷淋管I流体连通。所述喷嘴机构12还包括将所述滑块121连接到所述喷淋管10的锁紧件123，当所述锁紧件123锁紧时，所述滑块121固定连接到所述喷淋管10上；当所述锁紧件123松开时，所述滑块121可在水平面内移动，以调整所述喷嘴122在所述第一通孔11中的位置。进一步地，所述多个第一通孔11等间距地排布于所述喷淋管10的底部。
[0032]具体地，参阅图4，为了防止滑块121在水平面内移动的范围过大(有可能未完全覆盖第一通孔11导致药液泄漏)，在所述滑块121上朝向所述第一通孔11的一侧设置有卡槽1211，所述第一通孔11的边缘设置朝向所述滑块121凸起的卡点111，所述卡点111装配于所述卡槽1211中。设置卡点111和卡槽1211后，滑块121在水平面内的移动受到卡点111阻挡，滑块121的边缘不可移入到第一通孔11中。为了使滑块121能够具有较大的移动范围，卡槽1211在横向和纵向上的宽度应数倍大于卡点111的宽度。
[0033]值得说明的是，滑块121的移动范围的大小，可以根据调整滑块121、第一通孔11、卡槽1211以及卡点111的尺寸来实现，在此不作具体限定。
[0034]具体地，参阅图4和图5，所述滑块121上设置有第二通孔1212，所述喷嘴122可拆卸地连接于所述第二通孔1212。本实施例中，所述第二通孔1212为螺纹孔，所述喷嘴122具有与所述螺纹孔适配的第一螺纹部1221，通过将所述第一螺纹部1221装配于所述螺纹孔，以使所述喷嘴122可拆卸地连接于所述第二通孔1212中，且所述喷嘴122与所述第二通孔1212的连接部位可以增加密封圈等密封结构，以防止喷淋管10内的液体渗出。
[0035]可以理解的是，所述喷嘴122还可以通过焊接或一体成型等其他方式与滑块121固定连接，以随着滑块121的滑动而移动，这种固定连接的方式更能有效防止喷淋管10内的液体渗出。
[0036]具体地，参阅图4至图6，其中，图6是喷机结构与喷淋管的连接结构的仰视图，图4是如图6所示的连接结构中沿AA线的剖面图，图5是如图4所示的连接结构的分解示意图。本实施例中，所述锁紧件123为螺纹锁紧件12