技术编号:8927102
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。半导体集成电路(Integrated circuit)虽然仅仅是小于指甲的薄娃芯片(Silicon chip),但是其中确满载了数万个以上的电子元件(晶体管、二极管、电阻、电容等)O这些电子元件互相准确地连接后发挥出逻辑门(Logic gate)与记忆元件(Memoryelement)作用,芯片内的小元件及其连接部分则全部制作成细微且复杂的图案(pattern)后画到多个层的材料内。另一方面,在制造半导体的过程中实行诸如化学沉积(CVD)及蚀刻(Etch)...
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