能够探知泄漏与否的真空配管用连接件的制作方法
【专利说明】
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空配管用连接件，更具体地说，本发明涉及一种能够探知泄漏与否的真空配管用连接件，本发明在半导体制程设备能够实时掌握进行抽真空(vacuumpumping)作业的真空配管的连接部位是否漏气(Gas leak)。
【【背景技术】】
[0002]半导体集成电路(Integrated circuit)虽然仅仅是小于指甲的薄娃芯片(Silicon chip)，但是其中确满载了数万个以上的电子元件(晶体管、二极管、电阻、电容等)O
[0003]这些电子元件互相准确地连接后发挥出逻辑门(Logic gate)与记忆元件(Memoryelement)作用，芯片内的小元件及其连接部分则全部制作成细微且复杂的图案(pattern)后画到多个层的材料内。
[0004]另一方面，在制造半导体的过程中实行诸如化学沉积(CVD)及蚀刻(Etch)之类的工序时需要使用各种气体(Gas)及化学药品(Chemicals)，还必须维持真空(Vacuum)状态以防止外部气体流入，该外部气体流入后会危害或污染被处理物(例如晶片、基板等)及装置内部的构成要素。
[0005]为此，如图1所示地配备了在真空状态下进行处理的真空室(Chamber，910)、实现真空室(910)内部真空状态的真空泵(Vacuum pump，920)、针对真空泵(920)所排放的气体进行清洗以清除污染物的刷洗器(Scrubber，930)、把刷洗器(930)所清洗的气体排放到大气的导管(Duct，940)、上述真空泵(920)、清洗装置(930)、连接导管(940)地安装以便维持真空室(910)的真空状态并导引气体流入流出的真空配管(Vacuum pipe,950)等。
[0006]而且，半导体制程中使用的各种气体虽然是直接影响产品生产的工艺要素，却也会因为处理时的疏忽或未具备安全装置而对设备与系统造成损伤及损失，因此需要另行安装传感器之类的漏气探知工具(960)以便对气体的泄漏与否进行检测。
[0007]更进一步，利用夹具(Clamp，970)及能够因应直管制作误差而自由改变前进方向的波纹管(Bellows，980)针对进行了凸缘(Flange)加工的上述真空配管(950)的各连接部位实行管连接，但是目前为止运行人员需要直接利用另行准备的的检验器(离子检验器等，未图示)针对紧固了上述夹具(970)的真空配管(950)的连接部位逐一检查。
[0008]虽然上述夹具(970)准确地紧固在真空配管(950)连接部位时不会出现问题，但是每个工作人员所采取的方法与位置及环境各不相同而无法确认紧固状态是否准确，如果上述真空配管(950)紧固部位的密封(Sealing)错误或者因为装置缺陷而在半导体制程中泄漏有毒气体，不仅会导致前述设备及系统损伤与损失，还会对环境.人体带来严重的后果O
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【发明内容】
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[0009]【所要解决的技术课题】
[0010]本发明旨在解决上述问题，本发明的目的是提供一种能够探知泄漏与否的真空配管用连接件，其具备了反应物(药剂等)，该反应物(药剂等)则和用于真空配管的各连接部位紧固用途的夹具及波纹管所泄漏出来的气体进行化学反应，从而能够立即检查出漏气或者利用另行配备的探知工具与监控装置在远程实时掌握并采取对应措施。
[0011]【解决课题的技术方案】
[0012]为了达到上述目的，本发明包括:夹具，用于多个真空配管相互之间的管连接或上述真空配管与半导体制造装置配管相互之间的管连接；及反应物，处于配备在上述夹具的状态，能够因配管连接部位泄漏的气体而发生化学反应。
[0013]而且，本发明包括:波纹管，能够按照多个真空配管相互之间的管连接错误时或上述真空配管与半导体制造装置配管的连接误差时的游隙自由改变前进方向；及反应物，处于配备在上述波纹管的状态，能够因配管连接部位泄漏的气体而发生化学反应。
[0014]更进一步，上述反应物是药剂，该药剂则由能够在泄漏的气体导致化学反应时发挥变色作用的成分构成。
[0015]而且，上述夹具在紧固环的外部周缘面上还形成有长槽，该紧固环则将配管相互之间的末端同时加以围绕包裹连接，凭借该长槽而拥有能够填充上述反应物的充填空间，形成有从上述紧固环的内径面连通上述充填空间地贯穿并且配置在上述长槽内侧的至少一个以上的通孔。
[0016]更进一步，上述波纹管还具备有以围绕包裹整体皱纹部地形成的盖，使得用来填充上述反应物的充填空间形成于外侧，上述盖由透明材料制成以便查看上述反应物的化学反应状态。
[0017]【发明效果】
[0018]可以从前文所述内容明确得知，本发明的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件能够立即掌握真空配管的紧固部位是否有气体泄漏，因而能够对半导体制程中发生的漏气提早采取相应的对应措施，与此同时，凭此立即停止半导体制程的进程以防止设备损伤与故障并且确保运行人员的安全性。
[0019]而且，本发明还能解决运行人员直接利用检验器逐一检查数量众多的紧固部位的繁杂作业及由此而来的人力雇用与支付成本，还能大幅减少漏气检查时间。
[0020]与此同时，通过上述各种效果不仅延长半导体制造装置与设备的寿命并提高工序的可靠性，还能大幅提升制程良率，本发明能对半导体制造业的发展做出巨大贡献。
【【附图说明】】
[0021]图1是概略示出一般半导体制程的设备的例示图。
[0022]图2及图3是示出本发明的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件一实施例的夹具的结构斜视图。
[0023]图4是示出本发明的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件一实施例的利用夹具的真空配管的管连接状态的局部剖视图。
[0024]图5是示出本发明的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件另一实施例的波纹管结构的局部剖视图。
[0025]图6是概略示出使用本发明的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件的半导体制程设备例示图。
[0026]〈主要图形标记的说明〉
[0027]1:夹具2:波纹管(Bellows)
[0028]3:反应物11:紧固环
[0029]12:长槽12a、21a:充填空间
[0030]13:通孔21:皱纹部
[0031]22:盖
【【具体实施方式】】
[0032]下面为了让本发明所属技术领域中具备通常知识者能够轻易实施本发明而结合较佳实施例及附图详细说明本发明。
[0033]在附图中，图2与图3是示出本发明的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件一实施例的夹具的结构斜视图，图4是示出本发明的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件一实施例的利用夹具的真空配管的管连接状态的局部剖视图，图5是示出本发明的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件另一实施例的波纹管结构的局部剖视图，图6是概略示出使用