本发明的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件的半导体制程的设备例示图。
[0034]如图2所示，本发明的能够确认泄漏与否的真空配管的连接件包括:用于真空配管(950)相互之间的管连接及/或半导体制造装置配管相互之间的管连接的夹具(I)或按照直管连接误差时的游隙自由改变前进方向的波纹管(2)中的某一个；处于配备在上述夹具(I)或波纹管(2)的状态并且能够凭借配管连接部位所泄漏的气体而发生化学反应的反应物⑶。
[0035]如图3与图4所示，上述夹具(I)在把预先加工了凸缘的真空配管(950)相互之间及/或半导体制造装置配管相互之间的末端同时加以围绕包裹连接的紧固环(11)的外部周缘面上还形成了朝内深入一定范围的长槽(12)，从而具备能够填充上述反应物(3)的充填空间(12a)，形成有从上述紧固环(11)的内径面连通上述充填空间(12a)地贯穿并且在上述长槽(12)内按照一定间距配置的一个以上的多个通孔(13)。
[0036]上述波纹管(2)如图5所示地还包括盖(22)，该盖(22)把自由改变气体流的前进方向的皱纹部(21)整体围绕并包裹。这是为了在上述皱纹部(21)外侧形成充填空间(21a)，该充填空间(21a)则用来填充气体泄漏时与其发生化学反应的上述反应物(3)。
[0037]优选地，上述盖(221)由透明材料制成以便让运行人员以肉眼检查反应物(3)的化学反应状态或者另外利用颜色传感器之类的探知工具(960)检测。
[0038]反应物(3)用来检查配管连接部位是否发生漏气，优选地，该反应物(3)是和三氢砷化(Arsine)、娃烧(Silane)、三氯化硼(Boron trichloride)、溴化氢(Hydrogenbromide)等用于半导体制程的各种制程用气体及清洗用气体进行化学反应后发生变色作用的成分所构成的药剂(Chemicals)，但不必限定于此。
[0039]亦即，可以是能够由上述各种气体引起等温、等压之类化学反应的气体成分，也可以是以暴露于泄漏的气体(gas)时让密封着气体的纸膜破掉的方式配备在上述充填空间(12a) (21a)。
[0040]下面详细说明如前所述地构成的本发明的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件所发挥的作用。
[0041]首先，如图6所示，安装了本发明的能够探知泄漏与否的真空配管的连接件时另外还安装探知工具(960)，该探知工具(960)则由用来侦测各连接件上的上述反应物(3)的化学反应的颜色传感器或者以光破强度检测光能的光检测器等构成。
[0042]而且，还安装监控装置把探知到反应物⑶化学反应的上述探知工具(960)所发送的信号显示到画面上，从而可以在远离半导体制程设备的其它场所也能实时确认气体泄漏状态并提早采取相应的对应措施。
[0043]在该状态下，如果是以充填空间(12a)里充入了反应物⑶的上述夹具⑴进行了真空配管(950)相互之间的管连接或上述真空配管(950)与半导体制造装置配管相互之间的管连接，如图4所示，让预先加工了凸缘的配管的末端互相对接后利用上述紧固环(11)同时将其围绕使其成为一体地连接，半导体制程中凭借真空泵(920)使得真空室(910)内部空间呈真空状态而形成了排气流的气体则顺着上述真空配管(950)通过刷洗器(930)而最终以分离了污染物的状态通过导管(940)排放到外部。
[0044]此时，上述真空泵(920)的压力可能会导致配管相互之间的连接部位漏气，发生如前所述的漏气现象时，该泄漏的气体通过上述紧固环(11)的通孔(13)流入充填空间(12a)内并且和上述反应物(3)进行化学反应。
[0045]凭此，不仅运行人员能够直接利用肉眼确认反应物(3)的化学反应，还能另外利用上述监控系统在其它场所轻易地掌握其情况。
[0046]同样地，如果是根据直管制作误差所导致的配管相互之间的游隙而自由改变前进方向的波纹管(3)，如图5所示，围绕上述波纹管(3)的皱纹部(31)外部地覆盖上述盖(22)后形成充填空间(21a)并且填入反应物(3)，针对因为通过腐蚀或损伤所造成的龟裂部位侵入上述充填空间(21a)后该反应物(3)所发生的化学反应进行探知而能够轻易地掌握。
[0047]其结果，凭借前文所述的全部过程得以让人(运行人员)直接查看上述夹具(I)或波纹管(2)的反应物(3)是否发生了化学反应，即使没有运行人员也能利用另行准备的监控系统在其它场所实时查看，还能相应地提早采取对应措施。
[0048]前文结合较佳实施例对本发明做了详细说明，但本发明的范畴并不局限于特定实施例，本发明的范畴应该根据所附权利要求书阐释。而且，具备本发明所属技术领域通常知识者能够在不脱离本发明的精神与范畴的情形下实现各种变形。
【主权项】
1.一种能够探知泄漏与否的真空配管用连接件，其特征在于， 其包括: 夹具，用于多个真空配管相互之间的管连接或上述真空配管与半导体制造装置配管相互之间的管连接?’及 反应物，处于配备在上述夹具的状态，能够凭借配管连接部位所泄漏的气体而发生化学反应； 上述夹具在紧固环的外部还形成长槽，该紧固环则将配管相互之间的末端同时加以围绕包裹连接，凭借该长槽而拥有能够填充上述反应物的充填空间。2.根据权利要求1所述的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件，其特征在于， 上述反应物由能够凭借上述泄漏的气体而发生化学反应的气体成分构成。3.根据权利要求1所述的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件，其特征在于， 上述反应物是药剂，该药剂则由能够在泄漏的气体导致化学反应时发挥变色作用的成分构成。4.根据权利要求1所述的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件，其特征在于， 上述夹具还形成有从上述紧固环的内径面连通上述充填空间地贯穿并且配置在上述长槽内侧的至少一个以上的通孔。5.根据权利要求2所述的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件，其特征在于，上述真空配管用连接件还具备有把填充在上述充填空间的上述反应物加以密封的纸膜， 上述纸膜则在暴露于上述泄漏的气体时破掉。
【专利摘要】本发明涉及一种真空配管用连接件，更具体地说，本发明涉及一种能够探知泄漏与否的真空配管用连接件，其在半导体制程设备能够实时掌握执行抽真空(vacuum pumping)作业的真空配管的连接部位是否漏气(Gas leak)。本发明的能够探知泄漏与否的真空配管用连接件包括：夹具，用于多个真空配管相互之间的管连接或上述真空配管与半导体制造装置配管相互之间的管连接；及反应物，处于配备在上述夹具的状态，能够凭借配管连接部位所泄漏的气体而发生化学反应。
【IPC分类】H01L21/02
【公开号】CN104903990
【申请号】CN201480003837
【发明人】李载学
【申请人】韩国大家有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2014年1月10日
【公告号】US20150308601, WO2014109605A1