升降装置和真空镀膜腔室的制作方法技术资料下载

技术编号:9114579

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镀膜技术经过几十年的发展已经进入到相对成熟的阶段,广泛应用于玻璃成型工艺。随着平板显示器产业的飞速发展,在2004年中国IXD显示器的产量首次超过了 CRT,在该领域是一种大面积的镀膜技术,还不只是被镀工件的镀膜面积大到几平方米,而是考虑一套镀膜设备整个的生产能力和质量的平稳。在镀膜过程中,需要往复间歇性地挪移、升降玻璃工件,以方便镀膜,由此需要专门的传送机构和升降机构来实现。传统的升降机构通常由汽缸驱动,采用导轨形式,使得整个升降机构结构繁杂,而且难以精...
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