升降装置和真空镀膜腔室的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种升降装置和真空镀膜腔室。
【背景技术】
[0002]镀膜技术经过几十年的发展已经进入到相对成熟的阶段，广泛应用于玻璃成型工艺。随着平板显示器产业的飞速发展，在2004年中国IXD显示器的产量首次超过了 CRT，在该领域是一种大面积的镀膜技术，还不只是被镀工件的镀膜面积大到几平方米，而是考虑一套镀膜设备整个的生产能力和质量的平稳。
[0003]在镀膜过程中，需要往复间歇性地挪移、升降玻璃工件，以方便镀膜，由此需要专门的传送机构和升降机构来实现。传统的升降机构通常由汽缸驱动，采用导轨形式，使得整个升降机构结构繁杂，而且难以精确控制到位。也有些升降机构采用螺纹控制升降，然而这种结构调整高度时并不能连续无级地调节，容易产生偏差，难以满足精密生产需求。
【实用新型内容】
[0004]有鉴于此，提供一种结构简便、精确无级式调节高度的升降装置。
[0005]—种升降装置，其包括上板和下板，所述下板在与上板相对的顶面上设有斜块，所述上板在与下板相对的底面设有导轮，所述导轮与斜块的斜面保持接触并能顺着斜面滑动，所述下板设有一驱动机构，用于驱动下板做沿着斜面延伸方向的水平运动，以带动上板升降。
[0006]进一步地，所述升降装置还包括导引上板升降的导向机构。
[0007]进一步地，所述上板均匀分布设有多个导向孔，所述导向机构包括对应贯穿上板导向孔的多个导向轴。
[0008]进一步地，每个所述导向轴分别套设有轴套。
[0009]进一步地，所述斜块具有多个，且均匀分布设于下板的顶面，每个斜块对应于一个导轮。
[0010]进一步地，所述升降装置还包括用于限定下板沿着斜面延伸方向运动的限位机构。
[0011]进一步地，所述限位机构包括分设于下板两侧并与下板两侧面紧密接触的限位滚轮。
[0012]进一步地，所述驱动机构包括齿轮、用于驱动齿轮的动力装置、与齿轮啮合衔接的齿条，所述齿条固定于下板。
[0013]进一步地，所述下板开设有多个开孔，每个开孔装设有突出于下板顶面的多个导滑轮，用于使下板滚动接触上板，所述下板对应于开孔底部位置设有承接导滑轮的垫板。
[0014]以及，一种真空镀膜腔室，其包括腔体，所述腔体内还设有如上所述的升降装置。
[0015]上述升降装置通过斜块和导轮配合，在驱动机构的驱动下，下板做沿着斜面延伸方向的水平运动，导轮沿着斜面运动，带动上板做升降运动。由于斜面是连续曲线，导轮是顺着斜面运动，因此，该升降装置调节精度高，能做到无级调节。而且该升降装置无需复杂的导轨导滑结构，结构紧凑，成本低，其通过控制驱动装置即可调节所需高度，操作便利，效率高，可广泛应用在真空镀膜腔室等设备中。
【附图说明】
[0016]图1是本实用新型实施例的升降装置立体分解结构示意图。
[0017]图2是图1的升降装置沿着斜面延伸方向的侧视示意图。
[0018]图3是图1的升降装置沿着垂直于斜面延伸方向的侧视示意图。
[0019]图4是本实用新型实施例提供的真空镀膜腔室内部结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]以下将结合具体实施例和附图对本实用新型进行详细说明。
[0021]请参阅图1至图3，显示本实用新型实施例的升降装置10，其包括上板11和下板12，所述下板12在与上板11相对的顶面120上设有斜块13，所述上板11在与下板12相对的底面110设有导轮14，所述导轮14与斜块13的斜面保持接触并能顺着斜面滑动，下板12设有一驱动机构19，用于驱动下板12做沿着斜面延伸方向的水平运动，以带动上板11升降。
[0022]进一步地，升降装置10还包括导引上板11升降的导向机构。上板11均匀分布设有多个导向孔115，导向机构包括对应贯穿上板11导向孔115的多个导向轴15。每个导向轴15分别套设有轴套152。图示的实施例中，在靠近四角位置分别设有一个导向孔115，轴套152由导向孔115的孔缘向下一体延伸出，对导向轴15起到一定限位作用，使得上板11只能沿着导向轴15的轴线方向升降。
[0023]斜块13具有多个，且均匀分布设于下板12的顶面120，每个斜块13对应于一个导轮14。图示的实施例中，在下板12四角位置分别设有一个斜块13，导轮14对应有四个。斜块13的斜面可以是斜向平面或者斜向曲面，更优选为在斜面坡底位置较为平缓，并可具有一定缓冲作用的平坡部分，以便导轮14滚动到顶后较能平稳地保持状态。进一步地，可在坡底设置挡块，以避免导轮滑脱斜坡。斜块13的顶部可以是一个平坦部分，以便导轮14滚动到顶后较能平稳地保持状态。
[0024]升降装置10还包括用于限定下板12沿着斜面延伸方向水平运动的限位机构。具体地，限位机构包括分设于下板12两侧并与下板11两侧面紧密接触的限位滚轮16，以限定下板12只能沿着斜面延伸方向水平运动。限位滚轮16与下板11两侧面始终保持滚动接触，使下板运动时只能沿着斜面延伸方向做线性运动。
[0025]具体地，驱动机构19包括齿轮191、用于驱动齿轮的动力装置192、与齿轮191啮合衔接的齿条193，所述齿条193固定于下板12上。动力装置192优选为电机。
[0026]进一步地，所述下板12开设有多个开孔121，每个开孔121装设有突出于下板12顶面120的多个导滑轮17，用于使下板12滚动接触上板11，所述下板12对应于开孔121底部位置设有承接导滑轮17的垫板171。
[0027]具体操作时，当需要上升上板11时，例如在镀膜时提升玻璃基片，开启驱动机构19带动下板12沿着图2中向左方向，使导轮14做沿着斜坡13的上坡运动，此时下板12作线性运动，上板11在导向轴15的导引下只能沿着导向轴15的轴线方向作线性运动，而不会产生图示中的水平方向的偏移，严格控制上板11的上升运动，上升到位后停止电机，即停留在此位置。当需要降低上板11时，启动驱动机构19反向转动，带动下板12沿着图2中向右方向，下板12利用自身重力下降，也是在导轮14以及导向轴15导向下顺着斜坡13下降，下降到位，停止电机，上板11复位或到位。如此往复操作，通过控制驱动机构来调节上板11的升降。
[0028]如图4所示，显示本实用新型实施例提供的真空镀膜腔室100，其包括腔体101，所述腔体内还设有如上所述的升降装置10。如图所示，在真空镀膜腔室100的腔体101中，上板11的导轮14可以处于下板12底部和顶部两个状态，分别对应于上板11的升高状态和下降状态，图4显示的是下降状态，上板11的升高状态和下降状态对应于图中虚线A所示的上面一条线和下面一条线位置，通过控制使上板11的升高状态和下降状态之间切换，以便适应不同高度，便于放置镀膜支架，以进行镀膜等。腔体101和镀膜支架采用现有的结构形式，在此不再赘述。
[0029]上述升降装置通过斜块13和导轮14配合，在驱动机构19的驱动下，下板12做沿着斜面延伸方向的水平运动，导轮14沿着斜面运动，带动上板11做升降运动。由于斜面是连续曲线，导轮14是顺着斜面运动，因此，该升降装置调节精度高，能做到无级调节。而且该升降装置无需复杂的导轨导滑结构，结构紧凑，成本低，其通过控制驱动装置即可调节所需高度，操作便利，效率高，可广泛应用在真空镀膜腔室等设备中。
[0030]需要说明的是，本实用新型并不局限于上述实施方式，根据本实用新型的创造精神，本领域技术人员还可以做出其他变化，这些依据本实用新型的创造精神所做的变化，都应包含在本实用新型所要求保护的范围之内。
【主权项】
1.一种升降装置，其特征在于，包括上板和下板，所述下板在与上板相对的顶面上设有斜块，所述上板在与下板相对的底面设有导轮，所述导轮与斜块的斜面保持接触并能顺着斜面滑动，所述下板设有一驱动机构，用于驱动下板做沿着斜面延伸方向的水平运动，以带动上板升降。2.如权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述升降装置还包括导引上板升降的导向机构。3.如权利要求2所述的升降装置，其特征在于，所述上板均匀分布设有多个导向孔，所述导向机构包括对应贯穿上板导向孔的多个导向轴。4.如权利要求3所述的升降装置，其特征在于，每个所述导向轴分别套设有轴套。5.如权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述斜块具有多个，且均匀分布设于下板的顶面，每个斜块对应于一个导轮。6.如权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述升降装置还包括用于限定下板沿着斜面延伸方向运动的限位机构。7.如权利要求6所述的升降装置，其特征在于，所述限位机构包括分设于下板两侧并与下板两侧面紧密接触的限位滚轮。8.如权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述驱动机构包括齿轮、用于驱动齿轮的动力装置、与齿轮啮合衔接的齿条，所述齿条固定于下板。9.如权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述下板开设有多个开孔，每个开孔装设有突出于下板顶面的多个导滑轮，用于使下板滚动接触上板，所述下板对应于开孔底部位置设有承接导滑轮的垫板。10.一种真空镀膜腔室，其包括腔体，其特征在于，所述腔体内设有如权利要求1-9任一项所述的升降装置。
【专利摘要】本实用新型涉及一种升降装置和具有该升降装置的真空镀膜腔室，该升降装置包括上板和下板，所述下板在与上板相对的顶面上设有斜块，所述上板在与下板相对的底面设有导轮，所述导轮与斜块的斜面保持接触并能顺着斜面滑动，所述下板设有一驱动机构，用于驱动下板做沿着斜面延伸方向的水平运动，以带动上板升降。该升降装置通过斜块和导轮配合，在驱动机构的驱动下，下板水平线性运动，导轮沿着斜面运动，带动上板做升降运动。该升降装置调节精度高，能做到无级调节。而且该升降装置无需复杂的导轨导滑结构，结构紧凑，成本低，操作便利，效率高，可广泛应用在真空镀膜腔室等设备中。
【IPC分类】C23C14/50, C23C14/22
【公开号】CN204779780
【申请号】CN201520244969
【发明人】徐旻生, 庄炳河, 王应斌, 龚文志, 崔汉夫, 李永杰, 张永琪
【申请人】爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司
【公开日】2015年11月18日
【申请日】2015年4月21日